刷新
{{item.name}}会员
Study of the Formation of Single-Crystal Silicon Thin-Film Using Nanoimprint Seeding
纳米压印晶种形成单晶硅薄膜的研究
基本信息
- 批准号：18360025
- 负责人：
- 金额：$ 10.61万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2006
- 资助国家：日本
- 起止时间：2006 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
ナノインプリント技術を応用して非晶質シリコン薄膜表面の極微領域に転写した金属の触媒作用による固相結晶化過程の促進、金属誘起固相結晶化過程に優先配向性を利用して結晶核を所望の位置に配列して発生させ、その結晶核をレーザー照射で大結晶へと拡大成長させ技術を開発した。これにより、従来の方法では不可能であった、結晶方位を揃えた擬似単結晶シリコン薄膜をガラス基板上に形成する新しい技術を開発した。
The application of the technology to the promotion of solid phase crystallization and metal-induced solid phase crystallization in the field of amorphous thin film surface particles, the development of the technology to utilize the preferential alignment of crystalline nuclei at desired positions, the formation of crystalline nuclei, the irradiation of crystalline nuclei, and the growth of crystalline nuclei. This is the first time that a new technology has been developed for the formation of a thin film on a substrate.
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Investigation on Characteristic Variation of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor Using Laterally Grown Film
横向生长薄膜多晶硅薄膜晶体管特性变化的研究
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Akiyama;K. Watanabe;and T. Asano
- 通讯作者：and T. Asano
Characterization of Grain Boundary Effect on TFT Fabricated on Laterally Grown poly-Si Film
横向生长多晶硅薄膜上 TFT 晶界效应的表征
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Asano;K. Watanabe;K. Akiyama;G. Nakagawa and T. Kudo
- 通讯作者：G. Nakagawa and T. Kudo
Inkjet Printing of Ni Nano-Size-Particles for Metal Induced Crystallization of Amorphous Si
喷墨打印镍纳米颗粒用于非晶硅金属诱导结晶
- DOI：
- 发表时间：2006
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Ishida;G. Nakagawa and T. Asano
- 通讯作者：G. Nakagawa and T. Asano
Silicon Crystal Nanowires Produced by Metal-Induced Lateral Crystallization
金属诱导横向结晶生产硅晶体纳米线
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：G. Nakagawa and T. Asano
- 通讯作者：G. Nakagawa and T. Asano
Self-Heating of Laterally Grown Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor
横向生长多晶硅薄膜晶体管的自加热
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：G. Nakagawa and T. Asano;K. Watanabe and T. Asano
- 通讯作者：K. Watanabe and T. Asano
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
ASANO Tanemasa其他文献
ASANO Tanemasa的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('ASANO Tanemasa', 18)}}的其他基金
Study on high-speed doping mechanism of wet laser processing
湿法激光加工高速掺杂机理研究
- 批准号：
25289105 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Creation of Nano-device/CMOS Merged Three Dimensional Integrated Circuits Using Shape-Functionalized Micro-interconnect
使用形状功能化微互连创建纳米器件/CMOS 合并三维集成电路
- 批准号：
21246061 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Position and Orientation Control of Si Thin-Film Crystal Grain Using Nano-Imprint Technology
利用纳米压印技术控制硅薄膜晶粒的位置和取向
- 批准号：
15360022 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Thin-Film-Transistor and Its Layr-Structured Circuitry for Signal Prosessing Based on Probability
基于概率的薄膜晶体管及其层状信号处理电路
- 批准号：
08650406 - 财政年份：1996
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Investigation of Electron-Wave Interference Vacuum Microelectronics Devices
电子波干涉真空微电子器件研究
- 批准号：
05555010 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
Fundamental Research of Single-Atomic Memories
单原子存储器的基础研究
- 批准号：
03452083 - 财政年份：1991
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
相似海外基金
赤外線プラズモニック吸収体の熱ナノインプリント形成と熱電変換素子応用の検討
红外等离子体吸收体热纳米压印形成及热电转换元件应用研究
- 批准号：
23K03925 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
ナノ成形構造体と自己組織化成膜技術の融合によるナノ構造体形状制御に関する研究
纳米结构与自组装成膜技术融合的纳米结构形状控制研究
- 批准号：
22H01383 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Development of boiling cooling enhancement technique using MEMS technology aided boiling bubble resonator
利用MEMS技术辅助沸腾气泡谐振器开发沸腾冷却强化技术
- 批准号：
22K03969 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
ナノインプリント法を用いた超微細配線の創製
使用纳米压印方法创建超细布线
- 批准号：
21K04713 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Study on polymer surface properties by high-temperature AFM observation of poly(methyl methacrylate) (PMMA) isolated chains deposited on a PMMA molecularly flat substrate
通过高温 AFM 观察沉积在 PMMA 分子平面基底上的聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 孤立链来研究聚合物表面性能
- 批准号：
21K18993 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Studies and Sensor Application of Fluorenylidene-Acridanes with Absorption Color Changes Depending on Pressure
吸收颜色随压力变化的亚芴基吖啶类化合物的研究和传感器应用
- 批准号：
21K18956 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Development of forming process for micro actuation surfaces
微驱动表面成形工艺的开发
- 批准号：
21K18702 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
LSPRデバイスへの応用を目指したアルミナノホール形成技術の開発
开发应用于局域表面等离子体共振装置的铝纳米孔形成技术
- 批准号：
21K03815 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Relationship between friction and wear characteristics of nanosheets and tactile memory using electroencephalograph
使用脑电图仪研究纳米片摩擦磨损特性与触觉记忆之间的关系
- 批准号：
20K04243 - 财政年份：2020
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
マイクロ・ナノパターン構造付与による生理活性機能が発現する吸収性メンブレンの開発
开发通过赋予微/纳米图案结构而表现出生理活性功能的可吸收膜
- 批准号：
20K18568 - 财政年份：2020
- 资助金额：
$ 10.61万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists