Development of Fabricating Method of Nanoscale Pit with High Aspect Ratio Using Carbon Nanotube Probe

利用碳纳米管探针制备高深宽比纳米级凹坑的方法开发

• 批准号: 19560127
• 负责人: MATSUMURO Akihito
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560127/
• 关键词: カーボンナノチューブ探針; STM加工; 高アスペクト比加工; ナノスケール加工; 高アスペクト比; 最適条件; 加工メカニズム; 引き上げ法; シリコン単結晶; 凹凸加工; 金材料; タングステン探針

ナノデバイスの実現のためナノメートルの加工スケール,精密位置制御, 高アスペクト比(加工深さ/穴径) 加工技術の開発を,カーボンナノチューブ探針を走査型トンネル電子顕微鏡の探針として用いた場合の可能性について検討を行った. 加工深さ286nm, 穴径63nm, アスペクト比4.5の穴加工が実現し, 従来のタングステン探針に対し, 45倍向上した. その加工原理は電解蒸発と考察された.

The development of machining technology, precision position control, high loss ratio (machining depth/hole diameter), and the possibility of using electron microscope probe in the middle of the application are discussed. The machining depth is 286nm, the hole diameter is 63nm, and the hole machining is realized with a diameter ratio of 4.5. The principle of electrolytic evaporation was investigated.

项目成果

スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性

溅射TiC薄膜的微观力学性能

• 发表时间: 2008
• 作者: 粕谷健太;高木誠;松室昭仁
• 通讯作者: 松室昭仁

SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化

使用 SPM 和表面结构变化进行硅单晶纳米加工

• 发表时间: 2007
• 期刊: 精密工学会誌 Vol.73
• 作者: 吉田浩也;松室昭仁;岩田博之;高木誠
• 通讯作者: 高木誠

生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化

AFM 观察生物相容性材料的微观摩擦学和结构变化

• 发表时间: 2008
• 作者: 川本竜也;高木誠;松室昭仁
• 通讯作者: 松室昭仁

FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質

FIB-CVD 微结构的制造和机械性能

• 发表时间: 2008
• 作者: 中山浩征;高木誠;松室昭仁
• 通讯作者: 松室昭仁

ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製

使用纳米管探针通过 STM 处理制造微结构

• 发表时间: 2007
• 作者: 新井裕之;松室昭仁;高木誠
• 通讯作者: 高木誠