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Development of Fabricating Method of Nanoscale Pit with High Aspect Ratio Using Carbon Nanotube Probe

Development of Fabricating Method of Nanoscale Pit with High Aspect Ratio Using Carbon Nanotube Probe
利用碳纳米管探针制备高深宽比纳米级凹坑的方法开发
批准号：
19560127
负责人：
MATSUMURO Akihito
金额：
$2.66万
依托单位：
Aichi Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560127/
关键词：
カーボンナノチューブ探針STM加工高アスペクト比加工ナノスケール加工高アスペクト比最適条件加工メカニズム引き上げ法シリコン単結晶凹凸加工金材料タングステン探針

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项目成果

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ナノデバイスの実現のためナノメートルの加工スケール,精密位置制御, 高アスペクト比(加工深さ/穴径) 加工技術の開発を,カーボンナノチューブ探針を走査型トンネル電子顕微鏡の探針として用いた場合の可能性について検討を行った. 加工深さ286nm, 穴径63nm, アスペクト比4.5の穴加工が実現し, 従来のタングステン探針に対し, 45倍向上した. その加工原理は電解蒸発と考察された.
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会议论文
スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性
溅射TiC薄膜的微观力学性能
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [粕谷健太, 高木誠, 松室昭仁]
通讯作者： 松室昭仁
SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
使用 SPM 和表面结构变化进行硅单晶纳米加工
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： 精密工学会誌 Vol.73
影响因子： --
作者： [吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠]
通讯作者： 高木誠
生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化
AFM 观察生物相容性材料的微观摩擦学和结构变化
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [川本竜也, 高木誠, 松室昭仁]
通讯作者： 松室昭仁
FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質
FIB-CVD 微结构的制造和机械性能
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [中山浩征, 高木誠, 松室昭仁]
通讯作者： 松室昭仁
共 7 条
    High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process
    • 批准号：
      21560133
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      MATSUMURO Akihito
    • 依托单位：
      Aichi Institute of Technology
    Development of Control Method for Residual Stress in Thin Film by Ultrasonic Substrate Vibration
    • 批准号：
      15360052
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.73万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      MATSUMURO Akihito
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Development of In-Situ Surface Observation System with an Atomic Resolution under Tensile Stress by Atomic Force Microscope
    • 批准号：
      13450043
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.6万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      MATSUMURO Akihito
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Synthesis of B-C-N Superhard Thin Films by Ion-Beam-Assisted Deposition
    • 批准号：
      11650124
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      MATSUMURO Akihito
    • 依托单位：
      Nagoya University