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Development of the smart deposition process of amorphous carbon films due to the control of plasma process
基于等离子体过程控制的非晶碳薄膜智能沉积工艺的发展
基本信息
- 批准号：20684027
- 负责人：
- 金额：$ 13.56万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
- 财政年份：2008
- 资助国家：日本
- 起止时间：2008 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
We investigated plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) mechanism of an amorphous carbon film with infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). If methane plasma is used, sp^-hydrocarbon species, such as CH_2CH_3, are main precursors, contributed to film deposition. In the deposition process the relases of hydrogen from the precursors is needed to film growth. On the other hand, sp-hydrocarbon species, such as C_2H are the main precursors if acethylene plasma used. The species can be deposited through addition reaction without the relase of hydrogen. Then, the film deposition rate is higher with acethylene plasma than with methane plasma.
研究了等离子体增强化学气相沉积（PECVD）非晶碳膜的多内反射几何（MIR-IRAS）红外光谱机制。如果使用甲烷等离子体，sp^-烃类，如CH_2CH_3，是主要的前体，有助于薄膜的沉积。在沉积过程中，需要从前驱体中释放氢来生长薄膜。另一方面，sp-碳氢化合物，如C_2H是主要的前体，如果使用乙炔等离子体。该物质可以通过加成反应沉积而不释放氢。乙烯等离子体的膜沉积速率高于甲烷等离子体。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases
由于源气体造成的非晶碳膜沉积过程的差异
- DOI：10.1016/j.tsf.2009.11.033
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：2.1
- 作者：M. Shinohara;H. Kawazoe;T. Inayoshi;T. Kawakami;Y. Matsuda;H. Fujiyama;Y. Nitta;and T. Nakatani
- 通讯作者：and T. Nakatani
エチレンプラズマを用いた炭素膜形成過程の赤外分光計測
利用乙烯等离子体对碳膜形成过程进行红外光谱测量
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：高木雄也;八木翔平;高見佳生;津村高成;篠原正典;松田良信;藤山 寛
- 通讯作者：藤山 寛
Substrate Bias Effects on Amorphous Carbon Film Deposition
基板偏压对非晶碳膜沉积的影响
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masanori Shinohara;他
- 通讯作者：他
Dependences of growth process of amorphous carbon films on the different source gases : methane and acetylene
非晶碳薄膜的生长过程对不同源气体：甲烷和乙炔的依赖性
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masanori Shinohara;他
- 通讯作者：他
Substrate Bias Effect on Deposition Process of Amorphous Carbon Films
基底偏压对非晶碳膜沉积过程的影响
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Inayoshi;H. Kawazoe;M. Shinohara、他4名
- 通讯作者：M. Shinohara、他4名
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Clinical study of multiple peptide vaccination for postoperative oral cancer patients revealed induction of immune responses and improved prognosis.
口腔癌术后患者多重肽疫苗接种的临床研究表明，可诱导免疫反应并改善预后。
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24390458 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
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$ 13.56万 - 项目类别：
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21390541 - 财政年份：2009
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$ 13.56万 - 项目类别：
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- 批准号：
20500865 - 财政年份：2008
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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- 批准号：
19880031 - 财政年份：2007
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
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口腔鳞状细胞癌的表观遗传学研究-表观遗传学变化在癌症诊断和治疗中的应用-
- 批准号：
19390520 - 财政年份：2007
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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- 批准号：
15390619 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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12470442 - 财政年份：2000
- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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智能乳腺癌诊断和监测治疗反应训练网络（CanDoIt）
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N2Vision：一种由机器人驱动、数据驱动的机器视觉工具，用于耕地土壤的氮诊断
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- 资助金额：
$ 13.56万 - 项目类别：
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- 资助金额：
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$ 13.56万 - 项目类别：
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