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Establishment of a real time measurement method of carbon film deposition process and its surface modification process during plasma generated in liquid, and the clalification of these processes

液体等离子体中碳膜沉积过程及其表面改性过程实时测量方法的建立及过程的阐明

基本信息

批准号：
23654203
负责人：
SHINOHARA Masanori
金额：
$ 2.33万
依托单位：
Nagasaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011 至 2012
项目状态：
已结题

项目摘要

Plasma generated in liquid is a new promising plasma source. However, the reaction measurement is difficult because plasma diagnostics have been developed for low-pressure plasma process. Thereby, we developed a new measurement system for plasma in liquid, using Infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). We succeeded in the measurement of the plasma process: the changes in chemical states of the solution and the chemical states of deposits due to the plasma generation in the solution. We also succeeded in the measurement of the reaction of the plasma with bio-model materials. This result suggests the MIR-IRAS is suitable to diagnostics of plasma in liquid for the bio- and medical application.

液态等离子体是一种很有前途的新型等离子体源。然而，由于针对低压等离子体过程的等离子体诊断技术已经发展起来，因此反应测量是困难的。因此，我们开发了一种利用多重内反射几何红外吸收光谱(MIR-IRAS)测量液体中等离子体的新系统。我们成功地测量了等离子体过程：由于溶液中等离子体的产生，溶液的化学状态和沉积的化学状态的变化。我们还成功地测量了等离子体与生物模型材料的反应。这一结果表明，MIR-IRAS适合于生物和医学应用中的液体中血浆的诊断。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析

液体中自组装薄膜与等离子体反应的红外光谱分析

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
電気学会プラズマ研究会資料
影响因子：
0
作者：
吉田裕太，丸野尚紀，篠原正典，松田良信，藤山寛
通讯作者：
吉田裕太，丸野尚紀，篠原正典，松田良信，藤山寛

液相中产生的等离子体形成与碳相关的颗粒

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
Musab Timan ;M. Shinohara;Y. Yoshida;Y. Matsuda and H. Fujiyama
通讯作者：
Y. Matsuda and H. Fujiyama

Recent Trends of Plasma Engineering

等离子工程的最新趋势

DOI：
10.1541/ieejfms.134.41
发表时间：
2014
期刊：
IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
影响因子：
0
作者：
篠原正典;金載浩
通讯作者：
金載浩

In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscop

用红外光谱仪原位监测等离子体引发的反应

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
M. Shinohara;K. Hara;Y. Takami;Y. Takaki;A. Fukae;K. Amano;Y. Matsuda;and H. Fujiyama,;Masanori Shinohara
通讯作者：
Masanori Shinohara

ダイヤモンド様薄膜、その製造方法及び製造装置

类金刚石薄膜及其制造方法和制造设备