Improvement of sensitivity in high-resolution RBS

提高高分辨率 RBS 的灵敏度

• 批准号: 21360022
• 负责人: KIMURA Kenji
• 金额: $ 11.65万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360022/
• 关键词: ノイズ低減; 高分解能RBS; 高分解能ERDA; 軽元素分析; 位置検出器

The sensitivity(limit of detection) of high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy(HRBS) is mainly determined by the background noise of the spectrometer. There are two major origins of the background noise in HRBS, one is the stray ions scattered from the inner wall of the vacuum chamber of the spectrometer and the other is the dark noise of the detector. A method to reduce the background noise was proposed and the noise was actually reduced by a factor 200. The detection limit can be improved down to 10 ppm for As in Si at a measurement time of one hour under ideal conditions.

高分辨卢瑟福背散射光谱（HRBS）的灵敏度（检测限）主要由光谱仪的背景噪声决定。高分辨拉曼散射的背景噪声主要来源于两个方面，一是谱仪真空室内壁散射的杂散离子，二是探测器的暗噪声。提出了一种降低背景噪声的方法，实际噪声降低了200倍。在理想条件下，测量时间为1小时时，硅中砷的检出限可提高到10 ppm。

项目成果

高分解能RBS法の検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減

高分辨率RBS法探测器系统背景噪声降低

• 发表时间: 2010
• 作者: 橋元弘貴;中嶋薫;鈴木基史;木村健二
• 通讯作者: 木村健二

Improvement of sensitivity in high-resolution RBS/ERDA

提高高分辨率 RBS/ERDA 的灵敏度

• 发表时间: 2011
• 作者: Hashimoto;K. Nakajima;M. Suzuki;K. Sasakawa;K. Kimura
• 通讯作者: K. Kimura

Improvement of sensitivity in high-resolution ERDA

提高高分辨率 ERDA 的灵敏度

• 发表时间: 2012
• 期刊: Nucl. Instr. and Methods B
• 作者: H. Hashimoto;K. Nakajima;M. Suzuki;K. Sasakawa;K. Kimura
• 通讯作者: K. Kimura

Improvement of sensitivity in high-resolution RBS

提高高分辨率 RBS 的灵敏度

• DOI: 10.1063/1.3594095
• 发表时间: 2011
• 期刊: Review of Scientific Instruments
• 影响因子: 1.6
• 作者: H.Hashimoto;K.Nakajima;M.Suzuki;K.Sasakawa;K.
• 通讯作者: K.

高分解能RBS/ERDAの検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減

高分辨率 RBS/ERDA 探测器系统中的背景噪声降低

• 发表时间: 2011
• 作者: 橋元弘貴;藤田頌;中嶋薫;鈴木基史;木村健二
• 通讯作者: 木村健二