Development of MEMS based viscosity sensor

基于MEMS的粘度传感器的开发

• 批准号: 21360103
• 负责人: FUJII Kenichi
• 金额: $ 12.4万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360103/
• 关键词: 粘度; センサ; MEMS; 熱物性; 自励発振; 非線形振動; 自励振動; マイクロカンチレバー; 粘性率; ファンデルポール型自励振動; マイクロカンチレバ

The development of viscosity sensor based on the MEMS technology was conducted. It came to be able to produce the basic structure of the sensor and strain gauge on the sensor chip. The measurement principle of the sensor was verified by using a developed holder which is applied the piezo actuator. The experimental results of the verification agreed with the calibration value of the standard reference liquid. The experiment of the measurement theory using the self-oscillation was quite a success. We applied for eight patents.

进行了基于MEMS技术的粘度传感器的研制。它能够在传感器芯片上生产传感器和应变片的基本结构。利用研制的压电致动器保持器验证了传感器的测量原理。验证实验结果与标准参考液的标定值一致。利用自激振荡进行测量理论的实验是相当成功的。申请了8项专利。

项目成果

MEMS粘性センサ(η-MEMS)の開発

开发MEMS粘度传感器（η-MEMS）

• 发表时间: 2010
• 作者: Yano;T.;Nishino;K.;Kawamura;H.;Ueno;I.;Matsumoto;S.;Ohnishi;M.;山本泰之
• 通讯作者: 山本泰之

特許出願(粘度計)

专利申请（粘度计）

• 发表时间: 2010

分数階微積分の工学応用

分数阶微积分的工程应用

• 发表时间: 2010
• 作者: O. Haruyama;Y. Nakayama;R. Wada;H. Tokunaga;J. Okada;T. Ishikawa;Y. Yokoyama;黒田雅治
• 通讯作者: 黒田雅治

粘度計

粘度计

• 发表时间: 2010

特許出願(回転軸保持機構)

专利申请（转轴保持机构）

• 发表时间: 2010