Nanofabrication and Strengthening of Silicon Single Crystal by UsingSPM

利用SPM对硅单晶进行纳米加工和强化

• 批准号: 22560124
• 负责人: TAKAGI Makoto
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560124/
• 关键词: MEMS; シリコン; ナノ加工; SPM; 機械的性質; シリコン単結晶; ナノスケール加工; MEMS/NEMS; 走査プローブ顕微鏡; 原子間力顕微鏡; 透過型電子顕微鏡; ナノインデンター; 加工硬化; ナノ加工(微細加工); 走査プローブ; ナノインデンテーション; 転位

Change in microstructure and mechanical properties of a Si surface after scanning-scratching tests under a very small loading force in an AFM was investigated by cross-sectional TEM observations and nano-indentation test. Amorphous Si phase and dislocations were generated by scratching, and amorphous Si phase was removed during scanning-scratching. The scratched sub-surface got harder.

采用扫描电镜观察和纳米压痕实验研究了硅表面在AFM上以很小的加载力进行扫描-划痕实验后的微观结构和力学性能的变化。划痕产生了非晶Si相和位错，扫描划痕去除了非晶Si相。被划伤的次表面变得更硬了。

项目成果

CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工

使用 CNT 探针通过 STM 对碳材料进行高纵横比纳米级加工

• 发表时间: 2010
• 作者: 岩見裕介;高木誠;松室昭仁
• 通讯作者: 松室昭仁

High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process

使用 CNT 探针进行碳材料的高纵横比纳米加工及其过程的 TEM 原位观察

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proc. The 11th euspen International Conference
• 作者: A.Matsumuro;M.Takagi
• 通讯作者: M.Takagi

CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明

利用碳纳米管通过STM技术纳米制造低电阻硅并阐明其原理

• 发表时间: 2012
• 作者: 神戸健吾;松室昭仁;高木誠;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之

AFM を用いた Si 単結晶のナノトライボロ ジーに及ぼす環境の影響

使用 AFM 观察环境对硅单晶纳米摩擦学的影响

• 发表时间: 2012
• 作者: 櫻井淳平;高木 誠;松室昭仁;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之

真空加熱下における AFM による Si 単結晶のナノ加工

真空加热下 AFM 硅单晶纳米加工

• 发表时间: 2011
• 作者: 若山大輔;高木 誠;松室昭仁;岩田博之
• 通讯作者: 岩田博之