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Nanofabrication and Strengthening of Silicon Single Crystal by UsingSPM

Nanofabrication and Strengthening of Silicon Single Crystal by UsingSPM
利用SPM对硅单晶进行纳米加工和强化
批准号：
22560124
负责人：
TAKAGI Makoto
金额：
$2.75万
依托单位：
Aichi Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560124/
关键词：
MEMSシリコンナノ加工SPM機械的性質シリコン単結晶ナノスケール加工MEMS/NEMS走査プローブ顕微鏡原子間力顕微鏡透過型電子顕微鏡ナノインデンター加工硬化ナノ加工(微細加工)走査プローブナノインデンテーション転位

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Change in microstructure and mechanical properties of a Si surface after scanning-scratching tests under a very small loading force in an AFM was investigated by cross-sectional TEM observations and nano-indentation test. Amorphous Si phase and dislocations were generated by scratching, and amorphous Si phase was removed during scanning-scratching. The scratched sub-surface got harder.
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会议论文
CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工
使用 CNT 探针通过 STM 对碳材料进行高纵横比纳米级加工
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [岩見裕介, 高木誠, 松室昭仁]
通讯作者： 松室昭仁
High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process
使用 CNT 探针进行碳材料的高纵横比纳米加工及其过程的 TEM 原位观察
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： Proc. The 11th euspen International Conference
影响因子： --
作者： [A.Matsumuro, M.Takagi]
通讯作者： M.Takagi
CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明
利用碳纳米管通过STM技术纳米制造低电阻硅并阐明其原理
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [神戸健吾, 松室昭仁, 高木誠, 岩田博之]
通讯作者： 岩田博之
AFM を用いた Si 単結晶のナノトライボロ ジーに及ぼす環境の影響
使用 AFM 观察环境对硅单晶纳米摩擦学的影响
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [櫻井淳平, 高木 誠, 松室昭仁, 岩田博之]
通讯作者： 岩田博之
共 19 条
    Preparation of Tribological Materials for Microelectromechanical systems
    • 批准号：
      13650766
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.79万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      TAKAGI Makoto
    • 依托单位：
      Aichi Institute of Technology
    Gene Detection by Light-to-electric Converting Intercalator and Its Application to DNA
    • 批准号：
      12305054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $15.33万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      TAKAGI Makoto
    • 依托单位：
      Kyushu University
    High-throughput Screening of Proteins by Electrochemical Protein Chip
    • 批准号：
      12555236
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.77万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      TAKAGI Makoto
    • 依托单位：
      KYUSHU UNIVERSITY
    Tribology of Nanostructured Materials for the Application to the Micromachine
    • 批准号：
      11650726
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.05万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      TAKAGI Makoto
    • 依托单位：
      Aichi Institute of Technology
    海外基金