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Challenging exploratory research on non-destructive internal

Challenging exploratory research on non-destructive internal
具有挑战性的无损内部探索性研究
批准号：
23656097
负责人：
TAKAHASHI Satoru
金额：
$2.5万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656097/
关键词：
精密位置決め加工計測微細構造非破壊計測内部情報計測高分解能計測回折限界超越回折限界

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We propose a novel nano thickness inspection method of residual layer film of nanoimprint lithography, allowing nondestructive evaluation of residual layer thickness. In the proposed method, we applied near-field optical enhancement of a fine metal tip as a high spatial resolution measurement probe, with which we can get near-field optical response generated by dynamic interaction of the tip, thin residual layer film and a Si substrate. By performing theoretical analyses based on finite-difference time-domain method and fundamental experiments using a newly developed near-field optical response detection system, we verified the feasibility of the proposed method.
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Study on nano thickness inspection for residual layer of nanoimprint lithography using near-field optical enhancement of metal tip
金属尖端近场光学增强纳米压印光刻残留层纳米厚度检测研究
DOI： 10.1016/j.cirp.2013.03.020
发表时间： 2013
期刊： CIRP Annals - Manufacturing Technology 62 (2013) 527–530
影响因子： --
作者： [S. Takahashi, Y. Ikeda, K. Takamasu]
通讯作者： K. Takamasu
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第13報)-FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析-
使用驻波位移的半导体晶片表面超分辨率光学缺陷检查（第13次报告） - 使用FDTD方法分析精细布线的散射特性 -
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [天野佑基,工藤良太,高橋哲,高増潔]
通讯作者： 天野佑基,工藤良太,高橋哲,高増潔
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-
利用驻波位移对半导体晶片表面进行超分辨率光学缺陷检查（第14次报告） - 相干成像顺序重建超分辨率方法 -
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [大岡健人, 原 安寛, 山村和也, 工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深]
通讯作者： 工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
半導体の線幅標準に関する研究（第10報）－AFM及びSTEMによるレジスト形状測定－
半导体线宽标准研究（第10次报告） - 使用AFM和STEM的抗蚀剂形状测量 -
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura, 沖藤春樹，高橋哲，高増潔]
通讯作者： 沖藤春樹，高橋哲，高増潔
共 25 条
    Discovery of PI polyamide targeting androgen receptor collaborative transcriptional factor in castration-resistant prostate cancer
    • 批准号：
      19K09740
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      TAKAHASHI Satoru
    • 依托单位：
      Nihon University
    Substantial Study on Actual Situation and Developmental Support Construction of Youth with Juvenile Delinquent Having Developmental Difficulties such as Developmental Disabilities
    • 批准号：
      17K04924
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      TAKAHASHI Satoru
    • 依托单位：
      Tokyo Gakugei University
    Development of induction method of insulin-producing cells in vivo
    • 批准号：
      16K14588
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      TAKAHASHI Satoru
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    The elucidation on androgen signaling pathway in prostate cancer and development of its targeting drug
    • 批准号：
      15K10610
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      TAKAHASHI Satoru
    • 依托单位：
      Nihon University
    海外基金