通过控制动态局部光分布对下一代功能精细结构纳米缺陷进行超分辨率测量的具有挑战性的探索性研究-猫眼课题宝

通过控制动态局部光分布对下一代功能精细结构纳米缺陷进行超分辨率测量的具有挑战性的探索性研究

批准号：

26630018

负责人：

TAKAHASHI Satoru

金额：

$2.5万

依托单位：

The University of Tokyo

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

财政年份：

2014

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2014-04-01 至 2015-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630018/

关键词：

欠陥計測ナノ欠陥光計測超解像計測加工計測局在光超解像

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