Development of piezoelectric AlGaN/Si-nanoresonators for high frequency electroceramic sensors which can be integrated into semi-conductor devices

开发用于可集成到半导体器件中的高频电陶瓷传感器的压电 AlGaN/Si 纳米谐振器

• 批准号: 5412900
• 负责人: Professor Dr. Oliver Ambacher
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik (HMT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5412900?language=en
• 关键词: Development; piezoelectric; AlGaN; Si; nanoresonators

Das Ziel unseres Vorhabens ist die Entwicklung integrierbarer nanoelektromechanischer Hochfrequenz (HF)-Sensoren auf Basis des elektrokeramischen Materialsystems AIN/Silizium. Nano-Resonatoren können vielseitig eingesetzt werden z.B. für mikrobiologische, chemische oder physikalische Sensoren, elektrooptische Koppler oder Hochfrequenzfilter. Durch Integration der eigentlichen Sensorbauelemente mit aktiven Halbleitern - oder passiven HF-Komponenten können dabei neuartige Funktionen in monolithisch integrierbarer Bauweise erzielt werden. Für unsere Zielsetzung sollen Gruppe III-Nitride als neue Materialklasse zum Einsatz kommen. Neben der piezoelektrischen Anregung als Voraussetzung für die Integrierbarkeit liefert die Pyroelektrizität von AlGaN-GaN-Heterostrukturen eine Basis für sehr empfindliche und schnelle Messaufnehmer und -wandler. Unser Ziel basiert auf der Nutzung des zweidimensionalen polarisationsinduzierten Elektronengases hoher Beweglichkeit, das sich an der AlGaN-GaN-Grenzfläche bildet. Dies ermöglicht die Auslegung des Sensorbauelementes als gate eines Feldeffekttransistors mit hohen Grenzfrequenzen. Perspektivisch können damit komplexe Sensoren für polare Flüssigkeiten oder multifunktionale HF-Filter für die Kommunikations- und Informationstechnik entwickelt werden.

DAS ZIELL推出了Vorhabens和EntwicksoleInc.纳米机电一体化(HF)-Sensoren auf基础De Ektrokeramischen材料系统AIN/Silizium。纳米共振法是一种新型的微生物学、化学和电镜学技术。在单片积分器中，包括被动的HF-Komponenten könnnen和Bauweise Erzielt的HF-Komponenten komponenten könnnen n e n t.Für unsere Zielsetzung Sollen Gruppe III-氮化物ALS Neue Materialklasse zum einatz komman.在此基础上，我们将为您提供一个完整的、完整的服务平台。从ZweiDimsionalen Nutzung des zweiDimsionalen Polisionalen Polilizationalen Induzierten Elektronenges Hoher Beweglichkeit，das Sich an der AlGan-Gan-Grizfläche bildet.德国麻省理工学院霍恩·格伦兹弗伦森公司生产的晶体管。从多个功能的HF-Filter für Difficationtions-and Informationstechnik entwickelt的角度来看，这是一项非常重要的工作。