Diamond disk micro-electro-mechanical transducers, CDISK

金刚石圆盘微机电换能器，CDISK

• 批准号: 317885617
• 负责人: Professor Dr. Oliver Ambacher
• 金额: --
• 依托单位: Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (IAF)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2016-12-31 至 2019-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/317885617?language=en
• 关键词: Diamond; disk; micro; electro; mechanical

Here, we propose a novel approach to achieve high Q-factors for electro-acoustic oscillators. Such systems require low impedance and high tunability, which is compatible with emerging front-end schemes. Within this project, we develop new types of tunable piezo-capacitive micro-electro-mechanical oscillators. The proposed transducers employ

在这里，我们提出了一种新的方法来实现高Q值的电声振荡器。这种系统需要低阻抗和高可调谐性，这与新兴的前端方案兼容。在这个项目中，我们开发了新型的可调谐压电电容微机电振荡器。所提出的传感器采用

项目成果

Quality Assessment of In Situ Plasma‐Etched Diamond Surfaces for Chemical Vapor Deposition Overgrowth

用于化学气相沉积过度生长的原位等离子蚀刻金刚石表面的质量评估

• DOI: 10.1002/pssa.202100035
• 发表时间: 2021
• 期刊: physica status solidi (a)
• 作者: J. Langer;V. Cimalla;M. Prescher;J. Ligl;B. Tegetmeyer;C. Schreyvogel;O. Ambacher
• 通讯作者: O. Ambacher

Temperature Cross-Sensitivity of AlN-Based Flexural Plate Wave Sensors

• DOI: 10.1109/jsen.2018.2853644
• 发表时间: 2018-10
• 期刊: IEEE Sensors Journal
• 影响因子: 4.3
• 作者: M. Reusch;K. Holc;V. Lebedev;N. Kurz;A. Žukauskaitė;O. Ambacher

Microstructural and optical emission properties of diamond multiply twinned particles

• DOI: 10.1063/1.5127170
• 发表时间: 2020-01
• 期刊: arXiv: Applied Physics
• 作者: V. Lebedev;Taro Yoshikawa;Christoph Schreyvogel;L. Kirste;J. Weippert;M. Kunzer;A. Graff;O. Ambacher

Nanodiamond resonators fabricated on 8″ Si substrates using adhesive wafer bonding

使用晶圆粘合技术在 8â3 Si 基板上制造纳米金刚石谐振器

• DOI: 10.1088/1361-6439/aa6e76
• 发表时间: 2017
• 期刊: Journal of Micromechanics and Microengineering
• 影响因子: 2.3
• 作者: V. Lebedev;T. Lisec;T. Yoshikawa;M. Reusch;D. Iankov;C. Giese;A. Žukauskaitė;V. Cimalla;O. Ambacher
• 通讯作者: O. Ambacher

Growth defects in heteroepitaxial diamond

异质外延金刚石的生长缺陷

• DOI: 10.1063/5.0045644
• 发表时间: 2021
• 期刊: Journal of Applied Physics
• 影响因子: 3.2
• 作者: V. Lebedev;J. Engels;J. Kustermann;J. Weippert;V. Cimalla;L. Kirste;Ch. Giese;P. Quellmalz;A. Graff;F. Meyer;M. Höfer;V. Sittinger
• 通讯作者: V. Sittinger