Micro-acoustic membrane-based resonators for measurements in liquids
用于液体测量的微声膜谐振器
基本信息
- 批准号:233800878
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2013
- 资助国家:德国
- 起止时间:2012-12-31 至 2014-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Gegenstand des Neuantrags ist die Entwicklung eines mikroakustischen Sensors zur multiparameteranalytik in Flüssigkeiten. Der Sensor basiert auf einer AlN-Membran die zu asymmetrischen Schwingungen angeregt wird. Die Arbeitsfrequenz des Sensors ist etwa 60 mal geringer als die von vergleichbaren Oberflächen- oder Volumenwellenbauelementen und der Sensor ist besonders gut zur simultanen Detektion unterschiedlicher Stoffeigenschaften geeignet.Ein neuartiger Aufbau des Sensors soll wesentliche Nachteile des gängigen Aufbaus eliminieren. Im neuartigen Aufbau sind die Elektroden in der Membran vergraben, wodurch die elektromechanische Kopplung maximiert und der Wandler elektrisch abgeschirmt wird. Wegen der vollständigen Abschirmung sind beide Seiten der Membran nutzbar. Die Vorteile sind ein vermindertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis, eine verminderte Druckabhängigkeit, eine erhöhte Sensitivität und minimales elektrisches Übersprechen. Wesentliche Zielsetzung ist die frequenzdiverse Messung zur Analytik von nicht standardisierten Flüssigkeiten. Dazu soll das Systemverhalten erstmalig mit Reflexionen modelliert und optimiert werden. Die Performance des Sensors soll mit DNA, Dopamin und der simultanen Bestimmung von Massenbelegung, Fluiddichte, Viskosität, Kompressibilität und Temperatur geprüft werden..
Gegenstand des Neuantrags is die Entwicklung eines mikroakustischen Sensors zur multiparameteranalytik in Flüssigkeiten.该传感器基于一个AlN膜,该膜具有非对称的弯曲变形。Die Arbeitsfrequenz des Sensors ist etwa 60 mal geringer als die von vergleichbaren Oberflächen- oder Volumenwellenbauelementen und der Sensor ist besonders gut zur schoolen Detektion unterschooledlicher Stoffeigschaften geeignet.Ein neuartiger Aufbau des Sensors soll wesentliche Nachteile des gängigen Aufbaus eliminieren.在新的结构中,膜上的电极是最大的,因此,电动机械的最大化和电动机的电动化是可以实现的。我们的最大吸收是在膜的中间。Die Vorteile sind ein vermindertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis,eine verminderte Druckabhängigkeit,eine erhöhte Sensitivität und minimales elektrisches Übersprechen. Wesentliche Zielsetzung ist die frequenzdifferent MESSANG ZUR ANALYTIK von nicht EXISIERTEN Flüssigkeiten.因此,必须用反射模型和优化韦尔登来确定系统的正确性。Die Performance des Sensors soll mit DNA,Dopamin und der Escherichen Bestimmung von Massenbelegung,Fluidweite,Viskosität,Kompressibilität und Temperatur geprüft韦尔登..
项目成果
期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Enhanced actuation of nanocrystalline diamond microelectromechanical disk resonators with AlN layers
- DOI:10.1063/1.4948343
- 发表时间:2016-04
- 期刊:
- 影响因子:4
- 作者:Taro Yoshikawa;M. Reusch;K. Holc;D. Iankov;V. Zuerbig;A. Žukauskaitė;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
- 通讯作者:Taro Yoshikawa;M. Reusch;K. Holc;D. Iankov;V. Zuerbig;A. Žukauskaitė;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
Aluminium nitride membranes with embedded buried idt electrodes for novel flexural plate wave devices
用于新型弯曲板波器件的具有嵌入式埋入 idt 电极的氮化铝膜
- DOI:10.1109/transducers.2015.7181167
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Reusch;P. Katus;K. Holc;W. Pletschen;L. Kirste;V. Zuerbig;D. Iankov;L. Reindl;O. Ambacher;V. Lebedev
- 通讯作者:V. Lebedev
Analysis and optimization of sputter deposited AlN-layers for flexural plate wave devices
弯曲板波器件溅射沉积 AlN 层的分析和优化
- DOI:10.1116/1.4959580
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Markus Reusch;Katarzyna Holc;Wilfried Pletschen;Lutz Kirste;Agne Žukauskaitė;Taro Yoshikawa;Dimitre Iankov;Oliver Ambacher;Vadim Lebedev
- 通讯作者:Vadim Lebedev
Tunable multisegment SixNy/AlN piezo lenses for wavefront correction
用于波前校正的可调谐多段 SixNy/AlN 压电透镜
- DOI:10.1109/transducers.2015.7181358
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:V. Zuerbig;D. Pätz;J. Fries;M. Bichra;W. Pletschen;K. Holc;M. Reusch;C. E. Nebel;S. Sinzinger;O. Ambacher;V. Lebedev
- 通讯作者:V. Lebedev
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Professor Dr. Oliver Ambacher其他文献
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