NEMS based diamond field emitters for new generation of low loss RF switches

用于新一代低损耗射频开关的基于 NEMS 的金刚石场发射器

• 批准号: 187805147
• 负责人: Professor Dr. Oliver Ambacher
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Nachhaltige Technische Systeme (INATECH)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2010-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/187805147?language=en
• 关键词: NEMS; based; diamond; field; emitters

Dynamische RF NEMS Schalter, die durch ns Impulse angetrieben werden, sind bisher sehr wenig erforscht. Grund hierfür sind die notwenigen Abmessungen im Nanometerbereich und die schnelle Degradation der Schalter, die Milliarden mechanischer Bewegungen und elektrischer Kontakte pro Sekunde herstellen müssen. Deshalb besteht das Ziel des Projektes darin, neue Antriebs- und Übertragungsprinzipien für Nano-Schalter zu prüfen, um diese Probleme zu lösen. Wir haben vor, neue komplementäre unimorphe RF-Balken (RF-Cube) Schalter auf Basis von NEMS Technologien und dem Betrieb im kontaktlosen Modus zu realisieren, die durch Feldemission/Tunneling über eine Nano-Lücke zwischen zwei Balken aus Nanodiamant mit geringer Elektronenaffinität arbeiten. Der Betrieb der Schalter sollte entweder piezoelektrisch, durch die Bewegung komplementärer unimorpher AlN/Nanodiamant-Balken oder optisch durch ein kürzlich vorgestelltes Licht-induziertes Feldeffekt- Phänomen erfolgen.

动态的射频NEMS Schalt，它的脉冲的角度是不是很大，这是由他自己来决定的。他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。Deshalb的名字是：Neue Antriebs，NeubertrawargSprinzipien für Nano-Schalt zu Prüfen，Um Diese Probleme zu Lösen。我们已经拥有了，新的技术基础是RF-Balken(RF-Cube)Schalt auf Based von NEMS Technologien and DEM Betrieb im kontaktlosen Modus zu Realieren，Die dendch Felding/Tunesüber eine Nano-Lücke zwitchen zwei Balken Aus NanoDiamant MIT Geringer Elektronaffinität arbeiten。它是一种新型的纳米材料，由纳米材料和纳米材料混合而成。

项目成果

Enhanced mechanical performance of AlN/nanodiamond micro-resonators

增强 AlN/纳米金刚石微谐振器的机械性能

• DOI: 10.1088/0960-1317/23/12/125017
• 发表时间: 2013
• 期刊: Journal of Micromechanics and Microengineering
• 影响因子: 2.3
• 作者: N. Heidrich;J. Hees;W. Pletschen;R.E. Sah;L. Kirste;V. Zuerbig;C. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Processing of Nanoscale Gaps for Boron-doped Nanocrystalline Diamond Based MEMS☆

硼掺杂纳米晶金刚石基 MEMS 纳米级间隙的加工

• DOI: 10.1016/j.proeng.2014.11.301
• 发表时间: 2014
• 期刊: Procedia Engineering
• 作者: D. Iankov;V. Zuerbig;W. Pletschen;C. Giese;R. Iannucci;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Piezoelectrically actuated diamond cantilevers for high-frequency applications

适用于高频应用的压电驱动金刚石悬臂梁

• DOI: 10.1016/j.diamond.2013.06.015
• 发表时间: 2013
• 期刊: Diamond and Related Materials
• 影响因子: 4.1
• 作者: N. Heidrich;V. Zuerbig;D. Iankov;W. Pletschen;R.E. Sah;B. Raynor;L. Kirste;C.E. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Transparent diamond electrodes for tunable micro-optical devices☆

用于可调谐微光学器件的透明金刚石电极â

• DOI: 10.1016/j.diamond.2013.06.010
• 发表时间: 2013
• 期刊: Diamond and Related Materials
• 影响因子: 4.1
• 作者: V. Zuerbig;W. Pletschen;J. Hees;R. E. Sah;L. Kirste;N. Heidrich;C. E. Nebel;O. Ambacher;V. Lebedev
• 通讯作者: V. Lebedev

Piezoelectric actuated micro-resonators based on the growth of diamond on aluminum nitride thin films

• DOI: 10.1088/0957-4484/24/2/025601
• 发表时间: 2013-01-18
• 期刊: NANOTECHNOLOGY
• 影响因子: 3.5
• 作者: Hees, J.;Heidrich, N.;Ambacher, O.
• 通讯作者: Ambacher, O.