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Rationales Design von neuen Materialien für die Mikroelektronik

微电子新材料的合理设计

基本信息

批准号：
5421216
负责人：
Professor Dr. Johannes A. Lercher
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Technische Chemie II
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Units
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2006-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5421216?language=en
关键词：
Rationales Design von neuen Materialien

项目摘要

Aufgrund der bisherigen positiven Ergebnisse wollen wir in dem beantragten Forschungsvorhaben die Herstellung neuer Materialien für low-k und high-k Anwendungen sowie die Silberabscheidung weiter entwickeln. Auf dem Thema der low-k-Materialien soll die physikalische Chemie in und an Silsequioxan-Filmen untersucht werden. Als neue Ansätze verfolgen wir folgende Schwerpunkte: - Modulation der dielektrischen Eigenschaften - Verständnis der dynamischen Veränderungen bei der Herstellung von Composit-Filmen - Einfluß der chemischen Funktionalität bei der Degradation von Polymerfilmen - Nukleation und Oberflächenmodifikation von Nanopartikeln Insbesondere werden Composit-Materialien mit niedriger oder nach Bedarf einstellbarer Dielektrizitätskonstante gezielt synthetisiert und in Hinblick auf ihre physikalisch-chemischen Eigenschaften charakterisiert. Weiterhin werden Synthesewege zu neuen organometallischen Precursoren mit einstellbarem Aggregatszustand für die Herstellung von high-k-Materialien und die Silberabscheidung entwickelt. Die Zusammenarbeit mit den Verbundpartnern im Forschungsschwerpunkt soll es ermöglichen, physikalische Meßmethoden für die Charakterisierung von high- und low-k Materialien gemeinsam zu nutzen und weiter zu entwickeln sowie die Materialien und Precursoren unter den Prozessbedingungen der Elektrotechnik zu testen.

Aufgrund der bisherigen positiven Ergebnisse构想我们在民主党beantragten Forschungsvorhaben死Herstellung诺伊尔Materialien毛皮性能和high-k Anwendungen和死Silberabscheidung魏特entwickeln。论文题目：低钾材料溶胶的物理、化学和硅氧烷-薄膜研究。Als neue Ansätze verfolgen wir folgende Schwerpunkte：-调制dielektrischen特征schaften - Verständnis der dynamischen Veränderungen beder Herstellung von复合薄膜- Einfluß der chemischen Funktionalität beder降解von聚合薄膜-成核和Oberflächenmodifikation von Nanopartikeln insbesonere werden复合材料和nedrigger - der nach Bedarf einstellbarer Dielektrizitätskonstante gezielt合成和在Hinblick auf物理-化学特征schaften。[3][魏氏][魏氏][j] .有机金属前驱体的合成[j] .高k材料的合成[j] .金属材料的合成[j] .]死目前麻省理工学院窝Verbundpartnern im Forschungsschwerpunkt soll后es ermoglichen,物理我ßmethoden毛皮死Charakterisierung·冯·高和性能Materialien gemeinsam祖茂堂nutzen和魏特祖茂堂entwickeln和死Materialien和Precursoren unt窝Prozessbedingungen der Elektrotechnik祖茂堂testen。