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Development of dopant concentration measuring technique for next generation semiconductor devices

Development of dopant concentration measuring technique for next generation semiconductor devices
开发下一代半导体器件的掺杂剂浓度测量技术
批准号：
25420285
负责人：
TANAKA Shigeyasu
金额：
$3.33万
依托单位：
Chubu University (2015-2016)Nagoya University (2013-2014)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420285/
关键词：
電子線誘起電流EBICSEM不純物濃度シリコン

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发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： T. Niwa and T. Tanji
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通讯作者： T. Tanji and C. Morita
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发表时间： 2014
期刊： Microscopy
影响因子： 1.8
作者： [H. Tsuruta, S. Tanaka, T. Tanji and C. Morita:]
通讯作者： T. Tanji and C. Morita:
共 12 条
    Development of dopant concentration measurement technique for next-generation devices
    • 批准号：
      20560296
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      TANAKA Shigeyasu
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Water adaptation strategy in anuran amphibians and molecular diversity of aquaporin
    • 批准号：
      19370024
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.65万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      TANAKA Shigeyasu
    • 依托单位：
      Shizuoka University
    Molecular and cellular diversity of aquaporin in a water-adaptation of the amphibians
    • 批准号：
      14540612
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      TANAKA Shigeyasu
    • 依托单位：
      Shizuoka university
    Role of vascular endothelial growth factor (VEGF) in the formation of vascular system for regulating the adenohyphysial function
    • 批准号：
      12640649
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      TANAKA Shigeyasu
    • 依托单位：
      Shizuoka University
    海外基金