Development of an ultrasonic sensor for detecting formation of a continuous film during deposition

开发用于检测沉积过程中连续薄膜形成的超声波传感器

基本信息

  • 批准号:
    15H05503
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 14.14万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
アンテナ発振非接触圧電センサによる薄膜の形態変化モニタリング手法の開発
开发一种利用天线振荡非接触式压电传感器监测薄膜形态变化的方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    白岩裕一郎;橋里駿;中村暢伴;荻博次;平尾雅彦
  • 通讯作者:
    平尾雅彦
LiNbO3振動子を用いた連続膜形成検知センサの 感度評価
使用LiNbO3谐振器的连续成膜检测传感器的灵敏度评估
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    橋里駿;白岩裕一郎;中村暢伴;荻博次;平尾雅彦
  • 通讯作者:
    平尾雅彦
バルク圧電体および金属ナノ薄膜の弾性特性評価
块体压电材料和金属纳米薄膜的弹性性能评价
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    ○石井里武;佐藤伸一;中村浩之;日笠正隆,村田美美,鶴田諒平,間瀬一彦,中山泰生;所竜太郎,市川裕士,小川和洋;中村暢伴
  • 通讯作者:
    中村暢伴
In-situ Detection of Discontinuous-Continuous Morphological Transition of Thin Film
薄膜不连续-连续形态转变的原位检测
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    N. Nakamura;Y. Shiraiwa;H. Ogi;and M. Hirao
  • 通讯作者:
    and M. Hirao
Formation of continuous metallic film on quartz studied by noncontact resonant ultrasound spectroscopy
非接触共振超声光谱研究石英上连续金属膜的形成
  • DOI:
    10.1063/1.4928959
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.2
  • 作者:
    N. Nakamura;N. Yoshimura;H. Ogi;and M. Hirao
  • 通讯作者:
    and M. Hirao
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  • 通讯作者:
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    $ 14.14万
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    2015
  • 资助金额:
    $ 14.14万
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    26630296
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 14.14万
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    $ 14.14万
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  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 14.14万
  • 项目类别:
    Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
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  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    $ 14.14万
  • 项目类别:
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知道了