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Development of an ultrasonic sensor for detecting formation of a continuous film during deposition

Development of an ultrasonic sensor for detecting formation of a continuous film during deposition
开发用于检测沉积过程中连续薄膜形成的超声波传感器
批准号：
15H05503
负责人：
Nakamura Nobutomo
金额：
$14.14万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H05503/
关键词：
超音波センサ金属膜連続膜共振圧電体薄膜形態変化モニタリング内部摩擦共振周波数ナノ薄膜

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アンテナ発振非接触圧電センサによる薄膜の形態変化モニタリング手法の開発
开发一种利用天线振荡非接触式压电传感器监测薄膜形态变化的方法
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [白岩裕一郎, 橋里駿, 中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦]
通讯作者： 平尾雅彦
LiNbO3振動子を用いた連続膜形成検知センサの 感度評価
使用LiNbO3谐振器的连续成膜检测传感器的灵敏度评估
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [橋里駿, 白岩裕一郎, 中村暢伴, 荻博次, 平尾雅彦]
通讯作者： 平尾雅彦
バルク圧電体および金属ナノ薄膜の弾性特性評価
块体压电材料和金属纳米薄膜的弹性性能评价
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [○石井里武, 佐藤伸一, 中村浩之, 日笠正隆，村田美美，鶴田諒平，間瀬一彦，中山泰生, 所竜太郎，市川裕士，小川和洋, 中村暢伴]
通讯作者： 中村暢伴
In-situ Detection of Discontinuous-Continuous Morphological Transition of Thin Film
薄膜不连续-连续形态转变的原位检测
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [N. Nakamura, Y. Shiraiwa, H. Ogi, and M. Hirao]
通讯作者： and M. Hirao
共 9 条
    Development of metallic nanoparticles for surface-enhanced Raman scattering with molecular selectivity
    • 批准号：
      20K21145
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.16万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Nakamura Nobutomo
    • 依托单位：
      Osaka University
    Development of fabrication method of semicontinuous metallic film and application to hydrogen-gas sensor
    • 批准号：
      18H01883
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.98万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Nakamura Nobutomo
    • 依托单位：
      Osaka University
    Development of a technique for controlling total resonances of a piezoelectric rectangular parallelepiped for ultra-small resonator
    • 批准号：
      26630010
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Nakamura Nobutomo
    • 依托单位：
      Osaka University
    国内基金
    海外基金
    燃料电池碳基非贵金属膜电极多尺度衰减机理及协同抗衰减方法研究
    • 批准号：
      CSTB2023NSCQ-MSX0211
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      祁文杰
    • 依托单位：
      重庆理工大学
    镁合金表面高纯可降解金属膜层结构设计及降解调控机制研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      54万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      齐福刚
    • 依托单位：
      湘潭大学
    超高压增压腔内柔性金属膜片冲击穹形边界过程重构及失效机理研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      青年科学基金项目
    • 资助金额：
      30万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      赵颖
    • 依托单位：
      衢州学院
    金属膜基结构平面应力分量超快测试的激光超声时域扫描表征方法研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      61万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      李林安
    • 依托单位：
      天津大学