Haftfestigkeitsprognose bei Mikrobeschichtungen mittels Ultraschallmikroskopie

使用超声波显微镜预测微涂层的粘附强度

• 批准号: 5436640
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Tilo Pfeifer
• 金额: --
• 依托单位: Forschungsbereich Fertigungsmeßtechnik und Qualitätsmanagement
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436640?language=en
• 关键词: Haftfestigkeitsprognose; bei; Mikrobeschichtungen; mittels; Ultraschallmikroskopie

In der Mikrosystemtechnik wird eine Vielzahl von Bauteilen durch Schichtauftrag erzeugt oder die Gebrauchstauglichkeit durch aufgebrachte Funktionsschichten gewährleistet. Die vollständige Haftung dieser Schichten auf einem Grundwerkstoff ist dabei oftmals die notwendige Bedingung für die Funktionserfüllung des gesamten Mikrosystems. Die Charakterisierung der Schichthaftung erfolgt derzeit zerstörend durch Ritzoder Eindringprüfung. Derartige Untersuchungen erfolgen jedoch erst in einer weit fortgeschrittenen Phase der Wertschöpfungskette und erbringen nur subjektive Ergebnisse (Haftungsklassen). Eine Rückführung der Haftungsparameter im Rahmen eines Qualitätsregelkreises an vorgelagerte Prozessschritte gestaltet sich daher unter den gegebenen Randbedingungen als äußerst schwierig. Ziel dieses Forschungsvorhaben ist es, die Hafffestigkeit vor dem eigentlichen Beschichtungsvorgang prognostizieren zu können. Unter Berücksichtigung eines eingefahrenen Beschichtungsprozesses ist die fundamentale Einflussgröße auf die Schichthaftung die Oberflächenstruktur des Haftgrunds. Untersuchungen mit einem Ultraschallmikroskop (engl. Scanning Acoustic Microscope kurz: SAM) erlauben die hochauflösende 3D-Messung der Oberfläche sowie die ortsaufgelöste Charakterisierung der Haftfestigkeit nach der Beschichtung. Diese Vorgehensweise gestattet die Entwicklung objektiver Kennzahlen für die Haftfestigkeit einer Schicht. Die Charakterisierung des Haftgrunds erfolgt, so weit wie möglich, durch bestehende Oberflächenkennwerte. Anhand dieser Ergebnisse sollen konkrete Korrelationen zwischen Oberflächenstruktur und Schichthaftung aufgezeigt und in einem Modell zusammengeführt werden. Auf diese Weise ist es später möglich, durch eine einfache Untersuchung der Oberfläche, im Vorhinein abschätzen zu können, ob der Schichtauftrag erfolgreich durchführbar ist oder die Oberfläche korrigiert werden muss.

在Mikrosystemtechnik中，将通过Schichtauftrag erzeugt或通过aufgebrachte Funktionsschichten gewährleistet实现Bauteilen的Vielzahl。Die vollständige Haftung dieser Schichten auf einem Grundwerkstoff ist dabei oftmals die notwendige Bedingung für die Funktionserfüllung des gesamten Mikrosystems. Die Charakterisierung der Schichthaftung erfolgt derzeit zerstörend durch Ritzoder Eindringprüfung. Derartige Untersuchungen erfolgen jedoh erst in einer weit fortgeschrittenen Phase der Wertschöpfungskette und erbringen努尔subjektive Ergebnisse（Haftungsklassen）. Eine Rückführung der Haftungsparameter im Rahmen eines Qualitätsregelkreises an vorgelagerte Prozessschritte gestaltet sich daher unter den gegebenen Randbedingungen als äußerst schwierig. Ziel dieses Forschungsvorhaben is es，die Hafffestigkeit vor dem eigentlichen Beschichtungsvorgang costizieren zu können. Unter Berücksichtigung eines eingefaeducen Beschichtungsprozesses is die fundamentale Einflussgröße auf die Schichthaftung die Oberflächenstruktur des Haftgrunds.使用超声波显微镜（英语：Ultrasound mikroskop）进行测量。扫描声学显微镜kurz：SAM）在进行测试时，会将Haftfestigkeit的原始特征转换为Oberfläche的hochauflösende 3D测量。这是一个为Haftfestigkeit一个Schicht而开发的项目。Haftgrunds的特点非常明显，因此也非常出色，因为Oberflächenkennwerte。此外，该Ergebnisse sollen konkrete correlationen zwischen Oberflächenstruktur und Schichthaftung aufgezeigt und in einem Modell zusammengeführt韦尔登.在这条河上，通过一个对上翼的探测，在前翼中形成一个小洞，上翼必须通过排水管或韦尔登进行加固。