Haftfestigkeitsprognose bei Mikrobeschichtungen mittels Ultraschallmikroskopie

使用超声波显微镜预测微涂层的粘附强度

基本信息

批准号：
5436640
负责人：
Professor Dr.-Ing. Tilo Pfeifer
金额：
--
依托单位：
Forschungsbereich Fertigungsmeßtechnik und Qualitätsmanagement
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2006-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436640?language=en
关键词：
Haftfestigkeitsprognose bei Mikrobeschichtungen mittels Ultraschallmikroskopie

项目摘要

In der Mikrosystemtechnik wird eine Vielzahl von Bauteilen durch Schichtauftrag erzeugt oder die Gebrauchstauglichkeit durch aufgebrachte Funktionsschichten gewährleistet. Die vollständige Haftung dieser Schichten auf einem Grundwerkstoff ist dabei oftmals die notwendige Bedingung für die Funktionserfüllung des gesamten Mikrosystems. Die Charakterisierung der Schichthaftung erfolgt derzeit zerstörend durch Ritzoder Eindringprüfung. Derartige Untersuchungen erfolgen jedoch erst in einer weit fortgeschrittenen Phase der Wertschöpfungskette und erbringen nur subjektive Ergebnisse (Haftungsklassen). Eine Rückführung der Haftungsparameter im Rahmen eines Qualitätsregelkreises an vorgelagerte Prozessschritte gestaltet sich daher unter den gegebenen Randbedingungen als äußerst schwierig. Ziel dieses Forschungsvorhaben ist es, die Hafffestigkeit vor dem eigentlichen Beschichtungsvorgang prognostizieren zu können. Unter Berücksichtigung eines eingefahrenen Beschichtungsprozesses ist die fundamentale Einflussgröße auf die Schichthaftung die Oberflächenstruktur des Haftgrunds. Untersuchungen mit einem Ultraschallmikroskop (engl. Scanning Acoustic Microscope kurz: SAM) erlauben die hochauflösende 3D-Messung der Oberfläche sowie die ortsaufgelöste Charakterisierung der Haftfestigkeit nach der Beschichtung. Diese Vorgehensweise gestattet die Entwicklung objektiver Kennzahlen für die Haftfestigkeit einer Schicht. Die Charakterisierung des Haftgrunds erfolgt, so weit wie möglich, durch bestehende Oberflächenkennwerte. Anhand dieser Ergebnisse sollen konkrete Korrelationen zwischen Oberflächenstruktur und Schichthaftung aufgezeigt und in einem Modell zusammengeführt werden. Auf diese Weise ist es später möglich, durch eine einfache Untersuchung der Oberfläche, im Vorhinein abschätzen zu können, ob der Schichtauftrag erfolgreich durchführbar ist oder die Oberfläche korrigiert werden muss.

在世界之中，Mikrosystem是创建新世界的主要因素。在Mikrosystem中，Mikrosystem是创建新世界的主要因素。在Mikrosystem中，Mikrosystem是创建新世界的主要因素。在Mikrosystem中，Mikrosystem是创建新世界的主要因素。 RitzoderEindringingprüfung。富裕的富裕富裕的富裕富裕的富人富裕的haftungsparameter。 Rahmen einesQualitätsregelkreises垂钓者Prozesschritte Gestaltets毫无销售的手势。 Ziel死于Forschungsvorhaben Ist，Die Hafffestigkeit vor dem dem eigentlichen beschichtungsvorgang prenognostizierenZuKönnen。 UnterBerücksichtigungeines eingefahrenen beschichtungsprozesses ist die die die die fuldamentaleeinflussgrößeAufauf die schichthaftung dieoberflächenstrukturdes haftgrunds。 Untersuchungen Mit Einem Ultraschallmikroskop（Engl。Scanning声学显微镜Kurz：Sam）Erlauben DieHochauflösende3d-Messung deroberflächeSowieSowie Sowie Sowie sowie sowieortsaufgelöstedie die die die die die die charakterisierung der hahakterisierung der hafeSierung der hafeSierung haftfestigkeit n bessnach deSnach deraCh de bessching derach Diese Vorgehensweise Gestattet Die Entwicklung objektiverKennzahlenFürDie haftfestigkeit einer Schicht。 Die Charakterisierung des Haftgrunds Erfolgt，因此WeitWieMöglich，Durch BestehendeOberflächenkennwerte。 Anhand Dieser Ergebnisse Sollen Konkrete Korrelationen ZwischenOberflächenstruktur和Einem ModellZusammengeführtWerden中Auf diese Weise ist es später möglich, durch eine einfache Untersuchung der Oberfläche, im Vorhinein abschätzen zu können, ob der Schichtauftrag erfolgreich durchführbar ist oder die Oberfläche korrigiert werden muss.