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Deep x-ray lithography for high aspect ratio applications

Deep x-ray lithography for high aspect ratio applications
适用于高深宽比应用的深度 X 射线光刻
批准号：
327243-2009
负责人：
Achenbach, Sven
金额：
$2.77万
依托单位：
University of Saskatchewan
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=457831
关键词：
Deepraylithographyaspectratio

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
从手机到汽车传感器，从医疗植入物到硬盘读/写磁头，我们这个技术驱动的世界不断要求提高各种设备的性能。这通常需要减小几何尺寸，因此微型和纳米技术越来越多地取代传统的制造技术。深度x射线光刻（XRL）和LIGA工艺是一种能够提供卓越结构质量和设备性能的制造方法。随着位于萨斯卡通的加拿大光源的微纳米设备同步加速器实验室SyLMAND投入使用，这些技术最终将在加拿大可用。
英文摘要
Our technologically driven world constantly demands improved performance in all classes of devices ranging from cellular phones to automotive sensors and from medical implants to hard disk read/write heads. This generally requires reduced geometric dimensions, and micro- and nanotechnology are therefore more and more often replacing conventional fabrication technologies. One fabrication approach delivering outstanding structure quality, and therefore device performance, is deep X-ray lithography (XRL) and the LIGA process. These techniques will finally be available in Canada as SyLMAND, the Synchrotron Laboratory for Micro and Nano Devices at the Canadian Light Source in Saskatoon, gets operational.
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会议论文
Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
High resolution zone plates fabricated by soft X-ray lithography for tomographic soft X-ray analysis applied in the designing and screening of potential Covid-19 drugs
  • 批准号：
    551062-2020
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $3.53万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
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海外基金
基于慧眼-HXMT宽能段观测的X射线吸积脉冲星磁场研究
  • 批准号：
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  • 项目类别：
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  • 资助金额：
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  • 批准年份：
    2023
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  • 依托单位：
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  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    肖汉光
  • 依托单位：
    重庆理工大学
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