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Deep x-ray lithography for high aspect ratio applications

Deep x-ray lithography for high aspect ratio applications
适用于高深宽比应用的深度 X 射线光刻
批准号：
327243-2009
负责人：
Achenbach, Sven
金额：
$2.77万
依托单位：
University of Saskatchewan
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2012
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-01-01 至 2013-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=505611
关键词：
Deepraylithographyaspectratio

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Our technologically driven world constantly demands improved performance in all classes of devices ranging from cellular phones to automotive sensors and from medical implants to hard disk read/write heads. This generally requires reduced geometric dimensions, and micro- and nanotechnology are therefore more and more often replacing conventional fabrication technologies. One fabrication approach delivering outstanding structure quality, and therefore device performance, is deep X-ray lithography (XRL) and the LIGA process. These techniques will finally be available in Canada as SyLMAND, the Synchrotron Laboratory for Micro and Nano Devices at the Canadian Light Source in Saskatoon, gets operational.
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Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
Deep X-Ray Lithography for High Aspect Ratio Polymer Micro Structures
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06009
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.97万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
High resolution zone plates fabricated by soft X-ray lithography for tomographic soft X-ray analysis applied in the designing and screening of potential Covid-19 drugs
  • 批准号：
    551062-2020
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $3.53万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Achenbach, Sven
  • 依托单位：
    University of Saskatchewan
国内基金
海外基金
基于慧眼-HXMT宽能段观测的X射线吸积脉冲星磁场研究
  • 批准号：
    12373051
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    55.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    侯贤
  • 依托单位：
    中国科学院云南天文台
同步X-ray成像对调控自噬的联合疗法抗三阴性乳腺癌机制研究
基于时空信息融合的2D X-ray到3D CT图像配准实时引导肺癌放疗研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    肖汉光
  • 依托单位：
    重庆理工大学
土壤孔隙结构调控斥水性土壤水分运动的作用机理研究