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Pulsed high-density plasmas for challenging nanopatterning into advanced materials

Pulsed high-density plasmas for challenging nanopatterning into advanced materials
脉冲高密度等离子体，用于挑战先进材料的纳米图案化
批准号：
458578-2014
负责人：
Margot, Joëlle
金额：
$8.82万
依托单位：
Université de Montréal
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=541975
关键词：
Pulseddensityplasmaschallengingnanopatterning

项目摘要

项目成果

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Pulsed plasmas have recently emerged as a solution to address some critical issues in plasma etching such as nanoscale patterning of several advanced materials. Indeed, pulsed plasmas present several advantages as compared to cw plasmas, which can considerably improve etching selectivity while maintaining profile anisotropy at the nanoscale with very little damage.
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RF and microwave plasmas intended for applications to nanomaterials and thin films synthesis
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05076
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $5.25万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Margot, Joëlle
  • 依托单位：
    Université de Montréal
RF and microwave plasmas intended for applications to nanomaterials and thin films synthesis
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05076
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.62万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Margot, Joëlle
  • 依托单位：
    Université de Montréal
RF and microwave plasmas intended for applications to nanomaterials and thin films synthesis
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05076
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.62万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Margot, Joëlle
  • 依托单位：
    Université de Montréal
RF and microwave plasmas intended for applications to nanomaterials and thin films synthesis
  • 批准号：
    RGPIN-2017-05076
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.62万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Margot, Joëlle
  • 依托单位：
    Université de Montréal
国内基金
海外基金
基于密度泛函理论金原子簇放射性药物设计、制备及其在肺癌诊疗中的应用研究
  • 批准号：
    82371997
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    48.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    张春富
  • 依托单位：
    上海交通大学
密度函数回归模型中的数据缩减方法
  • 批准号：
    72101058
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    张楠
  • 依托单位：
    复旦大学
浸润特性调制的统计热力学研究
  • 批准号：
    21173271
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    58.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    周世琦
  • 依托单位：
    中南大学
非高斯随机分布控制系统的集成故障诊断与容错控制研究
  • 批准号：
    61104022
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    23.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    姚利娜
  • 依托单位：
    郑州大学