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Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics

Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics
用于纳米级微电子学和光子学的硅基材料结构的制造和工艺建模
批准号：
249760-2011
负责人：
Haddara, Yaser
金额：
$2.04万
依托单位：
McMaster University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2014
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-01-01 至 2015-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=547393
关键词：
Fabricationprocessmodelingsiliconbased

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This grant is to support an integrated research program in process modeling for silicon-based materials and processes with applications in nanoelectronics and integrated optoelectronics. Two lines of research will be developed over the next five years:
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Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics
  • 批准号：
    249760-2011
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Haddara, Yaser
  • 依托单位：
    McMaster University
Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics
  • 批准号：
    249760-2011
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    Haddara, Yaser
  • 依托单位：
    McMaster University
Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics
  • 批准号：
    249760-2011
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    Haddara, Yaser
  • 依托单位：
    McMaster University
Fabrication and process modeling of silicon based material structures for nanoscale microelectronics and photonics
  • 批准号：
    249760-2011
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Haddara, Yaser
  • 依托单位：
    McMaster University
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  • 批准号：
    82371798
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    49.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    叶俊娜
  • 依托单位：
    上海交通大学
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