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Sputter coater equipment for Au and Pa thin film deposition
用于 Au 和 Pa 薄膜沉积的溅射镀膜设备
基本信息
- 批准号：156047-1994
- 负责人：
- 金额：$ 0.73万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
- 财政年份：1993
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1993-01-01 至 1994-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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138281-2012 - 财政年份：2012
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