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Magnetron Sputtering System for Fabrication of Ultrathin Nanostructured Inorganic Membranes

Magnetron Sputtering System for Fabrication of Ultrathin Nanostructured Inorganic Membranes
用于制造超薄纳米结构无机膜的磁控溅射系统
批准号：
9500067
负责人：
Jerry Lin
金额：
$2.08万
依托单位：
University of Cincinnati Main Campus
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1995
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1995-08-01 至 1997-07-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9500067&HistoricalAwards=false
关键词：
MagnetronSputteringSystemFabricationUltrathin

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中文摘要
翻译
将购买辛辛那提A公司的CTS-9500067 LIN U磁控溅射系统，用于制造无机薄膜。衬底温度、衬底到靶的距离和沉积时间可以手动或自动控制。还可以在指定的膜厚度上终止溅射沉积。该设备将使半渗透纳米结构复合膜的开发成为可能。将采用陶瓷膜作为载体。这种新型膜将应用于气体分离，用于环保石化产品的生产。
英文摘要
CTS-9500067 Lin U of Cincinnati A magnetron sputtering systems will be purchased and used to fabricate inorganic membranes. The substrate temperature, substrate to target distance and deposition time can be controlled manually or automatically. Termination of the sputtering deposition at a specified film thickness is also possible. The equipment will allow the development of semi-permeable nano-structured composite membranes. Ceramic membranes will be used as the support. The new membranes will have applications in gas separations for the environmentally conscious manufacture of petrochemicals.
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会议论文
Enhancing CO2 Hydrogenation to Methanol by Super-Hydrophobic Zeolite Membrane Reactor
  • 批准号：
    2200204
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $37.0万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Jerry Lin
  • 依托单位：
    Arizona State University
Template-Free Synthesis of Oriented Zeolite Membranes with Improved High-Activity Molecular Separation Characteristics
  • 批准号：
    2031087
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $34.11万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Jerry Lin
  • 依托单位：
    Arizona State University
Carbon-dioxide and Oxygen Counter-permeable Membrane Reactor for Hydrogen/Syngas Production from Natural Gas
  • 批准号：
    1604700
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $31.17万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Jerry Lin
  • 依托单位：
    Arizona State University
UNS: ZIF Membranes with Gated-Ultramicropores for Gas Separation
  • 批准号：
    1511005
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $30.0万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Jerry Lin
  • 依托单位：
    Arizona State University
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