Untersuchung des Einsatzes der PVD-Schichttransplantation zur Generierung neuartiger Oberflächen und Eigenschaften bei der Mikrobauteilfertigung

Mikrobauteilen的微型化堡垒为新的Herausforderungen，以及新的Lösungsansätze erfordern提供了Beschichtungstechnik。在一个星期内，我们可以从Mikrogießen konzentriert那里得到最好的，最好的，上面的飞行控制（z.B.一个Hartstoffbeschichtung）不应将过程分解为应用于生产的迫切需要的部件，而应将部件的初始形状分解为用于移植的部件，并将这些部件分解为用于移植的部件。有些人开始了一个混合过程，在新标准的Bauteil移植物上进行Gießen stoffschlüssig的Beschichtung。这是一个非常简单的方法，它是由一个毫米口径的带中性上翼和固有翼的带吸收的部件组成的。在移植过程中，材料和结构的特性将被描述为韦尔登的不同名称。Die bei diesen geringen Bauteilgrößen zu erwartenden problematischen Beschichtungsbedingungen（Handling，Kantenabundungen usw.）这辆混合动力车的设计者是一个联合车队。PVD-Schichten的积极特征在于它具有新的Oberflächeneigenschaften，并通过新的Oberflächeneigenschaften对Mikrobauteile进行修正，这就像是一个对Verschleißbeständigkeit的Steigerung，也就是一个对Oberflächenhärte的Erhöhung。因此，PVD-Beschichtungen的移植是一种上呼吸道疾病，也是一种光学疾病。Strukturgrößen im sub-μm-Bereich韦尔登bei dem Transplantationsprozess greßflächig（ca. 6 cm²）。在Mikrobauteile上的PVD-Mehrlagenschichten的早期移植显示出潜在的缺陷。这种涡流产生的结果只能通过韦尔登系统的轴承工程来实现，而齿轮、微结构部件在混合式加热器中的应用则需要通过Oberflächentechnik的方法来实现。硬质合金是CrN合金，钛基TiN-和TiAlN-硬质合金更受欢迎，这种硬质合金是经典的硬质合金。

Die fortschreitende Miniaturisierung von Mikrobauteilen stellt die Beschichtungstechnik vor neue Herausforderungen, welche neue Lösungsansätze erfordern. Ein Ansatz, welcher sich auf das Mikrogießen konzentriert, besteht darin, die benötigte Oberflächenbehandlung (z.B. eine Hartstoffbeschichtung) nicht als abschließenden Prozessschritt auf die fertig urgeformten Bauteile zu applizieren, sondern im Vorfeld die entsprechende Gussform des Bauteils zu beschichten und abschließend diese Beschichtung auf das Bauteil zu transplantieren. Somit entsteht ein hybrider Prozess, bei dem die Beschichtung beim Gießen stoffschlüssig auf das neu entstandene Bauteil transplantiert wird. Dieses Verfahren ermöglicht es, Bauteile mit Abmessungen von unter einem Millimeter endkonturnah mit neuartigen Oberflächen und Eigenschaften zu versehen. Bei dem Transplantationsprozess wird die Beschichtung zusammen mit ihren Materialeigenschaften und den Struktureigenschaften, welche von der Masterform übernommen werden, übertragen. Die bei diesen geringen Bauteilgrößen zu erwartenden problematischen Beschichtungsbedingungen (Handling, Kantenabrundungen usw.) entfallen, womit dieses Hybridverfahren zusätzlich eine Vereinfachung darstellt. Die positiven Eigenschaften der PVD-Schichten bleiben erhalten und versorgen die Mikrobauteile mit neuen Oberflächeneigenschaften, wie beispielsweise einer Steigerung der Verschleißbeständigkeit sowie einer Erhöhung der Oberflächenhärte. Vorversuche belegen, dass die transplantierten PVD-Beschichtungen eine hohe Oberflächengüte aufweisen, welche selbst den hohen Ansprüchen der Optik genügt. Strukturgrößen im sub-μm-Bereich werden bei dem Transplantationsprozess großflächig (ca. 6 cm²) auf die PVD-Beschichtung übertragen. Die erfolgreiche Transplantation von PVD-Mehrlagenschichten auf Mikrobauteile verdeutlicht das Potential dieses Verfahrens. Die aus den Vorversuchen gewonnenen Ergebnisse sollen in dem beantragten Projekt systematisch untersucht werden, mit dem Ziel, mikrostrukturierte Bauteile im hybriden Herstellungsprozess mit aus der Oberflächentechnik bekannten Hartstoffschichten auszustatten. Als Hartstoffschichten sind CrN und die titanbasierten TiN- und TiAlN-Schichten favorisiert, da diese sich als klassische Hartstoffschichten etabliert haben.