Neue Kalibrierstrategien für die fertigungsnahe Ermittlung mechanischer Eigenschaften von Mikrosystemen (MikroKal)

Für hohe Ausbeuten bei der Fertigung von Mikrosystemen ist es notwendig，deren mechanische Funktionalität möglichst frühzeitig，noch vor der Montage des Gesamtsystems zu ermitteln.在过去的几年里，这是一个由机械沃登而成的领域，它的结构是一个由微结构的变形、变形和振幅组成的机械结构。这种方法在劳动力中是一种很好的方法，在微生物技术的生产技术领域中，这种方法只不过是一种很好的方法。Ein Defizit besteht darin，dass，rückführbare Messwerte unter Verwendung geigneter Kalibrierverfahren für die Ermittlung der mechanischen Eigenschaften der Mikrokomponenten noch nicht zur Verfügung stehen. IMTEK-MML和ITO的共同项目是这样的，这些Lücke被设计成一个新的研究基础，一个新的计算方法被用来计算信息数据和信息方法。Um dieses Ziel zu erreichen，sollen mikromechanische Prüfnormale entwickelt，modelgestützte Kalibriervorschriften und Bewertungsverfahren erstelt und Richtlinien für deren künftige Anwendung in der Fertigung erarbeitet韦尔登.

Für hohe Ausbeuten bei der Fertigung von Mikrosystemen ist es notwendig, deren mechanische Funktionalität möglichst frühzeitig, noch vor der Montage des Gesamtsystems zu ermitteln. In den letzten Jahren sind eine Reihe von Messverfahren entwickelt worden, die geeignet sind, ortsaufgelöste mechanische Kenngrößen, wie Verformungs-, Verschiebungs- und Amplitudenfelder von MikroStrukturen zu erfassen. Diese Messmethoden sind erfolgreich im Labor demonstriert, die Umsetzung in das produktionstechnische Umfeld der Mikrofertigung erfolgte bisher jedoch nur punktuell. Ein Defizit besteht darin, dass, rückführbare Messwerte unter Verwendung geeigneter Kalibrierverfahren für die Ermittlung der mechanischen Eigenschaften der Mikrokomponenten noch nicht zur Verfügung stehen. Ziel des gemeinsamen Projektes zwischen dem IMTEK-MML und dem ITO ist es, diese Lücke zu schließen und auf der Basis sich ergänzender Kompetenz neue Strategien zu erforschen, die eine fertigungsnahe Kalibrierung sowie Bewertung der Messdaten ermöglichen und auf unterschiedliche Messmethoden anwendbar sind. Um dieses Ziel zu erreichen, sollen mikromechanische Prüfnormale entwickelt, modellgestützte Kalibriervorschriften und Bewertungsverfahren erstellt und Richtlinien für deren künftige Anwendung in der Fertigung erarbeitet werden.