Thermomechanisches Verhalten von PACVD-Schutzschichten bei lokaler Temperaturwechselbelastung

Mittels激光热激波热激模热机理（热激模）、热激模（热激模）、热激模（热激模）、热激模（热激模）、气激模（PACVD）、热激模（Ti,Al）、热激模、热激模、热激模)、热激模、热激模、热激模、热激模。Es werden die kritischen Zyklenzahlen fr die mittelels rasterelektronenmikskopie und fokussiertem Ionenschnitt detektierbaren Schädigungsstufen垂直断裂，断裂，分层和Abplatzung最佳估计和mit Hilfe der Bruchmechanik定量分析。Die Ursache dieser Schädigungen sind laserinduzierte Kriechverformungen涉及“障碍控制的位错塑性”。Zur bestimung der Kriechparameter as substratkrkr<s:1> mmungsmessungen ist es erforderlich, das mittelels Röntgenverfahren zmessende eigenspan profile innerhalb der Schicht zu berckschhtigen。1 . beden zu analysierenden vier Schädigungsstufen handelt es siich um universselle Schädigungsphänomene schichtsystem, die z.b.a uch in Wärmedämmschichten beobachtet wurden。[endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1]。

Mittels Laser-Thermoschock wird die thermomechanische Belastbarkeit einer durch plasmaaktivierte Gasphasenabscheidung (PACVD) hergestellte (Ti,Al)N-Schutzschicht auf WC-Co-Hartmetall charakterisiert und dabei der unterbrochene trockene Schnitt simuliert. Es werden die kritischen Zyklenzahlen für die mittels Rasterelektronenmikroskopie und fokussiertem Ionenschnitt detektierbaren Schädigungsstufen Vertikalrissbildung, Rissumlenkung, Delamination und Abplatzung bestimmt und mit Hilfe der Bruchmechanik quantitativ analysiert. Die Ursache dieser Schädigungen sind laserinduzierte Kriechverformungen infolge "obstacle-controlled dislocation plasticity". Zur Bestimmung der Kriechparameter aus Substratkrümmungsmessungen ist es erforderlich, das mittels Röntgenverfahren zu messende Eigenspannungsprofil innerhalb der Schicht zu berücksichtigen. Bei den zu analysierenden vier Schädigungsstufen handelt es sich um universelle Schädigungsphänomene für Schichtsysteme, die z.B. auch in Wärmedämmschichten beobachtet wurden. Mit diesen Grundlagenuntersuchungen sollen die Methoden zur Bestimmung wesentlicher Charakterisierungsgrößen, wie Eigenspannungsprofil, Kriechparameter, Festigkeit und Delaminationsbruchzähigkeit für eine Schichtoptimierung bereit gestellt werden.