Messverfahren zur In-Prozess-Charakterisierung optisch erzeugter Sub-100-nm-Strukturen

Sole das erfolgreiche Konzept der Entwickung von-Prozess-Messverfahren für Sub-1 OO-nm-Strukturen auf base von rigorosen Streulicht-Simulationen fortgeführden.Neben der Weiterentwickrunder模拟-和Auswerteverfahren liegt das Hauptaugenmerk nun auf der Praktischen Applikation der Messverfahren be verschiedenen Partnern innerhalb and au？erhalb des Schwerpenkt Programmms.他说：“我不知道这是怎么回事，但我不知道。”在Vielen Technischen Anwendungen(z.B.血浆和氧化锌发光二极管)中，我们发现了纳米结构的统计数据和同种的脊椎动物数据。我们将在未来的一段时间内完成这项工作，我们将继续努力。在媒体技术和生物兼容的情况下，我们不会对此进行统计，因此，我们的兴趣主要集中在同质的方面。在这里，我不知道该怎么做。这句话的意思是：我相信这是一件非常重要的事情。从今天起，我不再为您效劳，而是为您服务。Andererseits müssen Neue Digitale Bild austeverfahren entwickelt den.

Es soll das erfolgreiche Konzept der Entwicklung von In-Prozess- Messverfahren für Sub-1 OO-nm-Strukturen auf Basis von rigorosen Streulicht-Simulationen fortgeführt werden. Neben der Weiterentwicklung der Simulations- und Auswerteverfahren liegt das Hauptaugenmerk nun auf der praktischen Applikation der Messverfahren bei verschiedenen Partnern innerhalb und außerhalb des Schwerpunktprogramms. Um vom breiten Spektrum der Anwendungen ausgehend zu einer allgemein gültigen Entwicklungs-Methodik für Streulicht- Messverfahren zu gelangen, wird diese Aufgabe in mehreren Stufen umgesetzt. In vielen technischen Anwendungen (z.B. plasmonische Schichten oder ZnO-LEDs) bedecken Nanostrukturen statistisch und homogen verteilt die gesamte Oberfläche. Zu detektierende Prozessabweichungen in Bezug auf diese Nanostrukturen wirken sich auf das gesamte Streulichtmuster aus und sind daher mit einer überschaubaren Anzahl von Simulationen zu identifizieren sowie messtechnisch nachzuweisen. Betreffen statistische Abweichungen jedoch nur Teilbereiche der Oberfläche, wie z.B. in der Medizintechnik bei biokompatiblen Oberflächenbeschichtungen, so interessiert meist die Homogenität der Bedeckungsdichte. Hier sind hauptsächlich messtechnische Herausforderungen zu erwarten. Deterministische Strukturabweichungen hingegen können sich in beliebigen begrenzten Bereichen der Streulichtverteilung ausprägen. Um diese Effekte zu erkennen, ist einerseits eine erheblich größere Anzahl von Simulationen erforderlich. Andererseits müssen neue digitale Bild auswerteverfahren entwickelt werden.