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Reactive Atomic and Molecular Ion-Surface Collisions
反应原子和分子离子表面碰撞
基本信息
- 批准号：8914608
- 负责人：
- 金额：$ 22.3万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Continuing Grant
- 财政年份：1990
- 资助国家：美国
- 起止时间：1990-04-15 至 1994-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
It is proposed to study atomic and molecular ion-solid interactions at energies of several electron volts and higher (KeV) covering the range between thermal gas-surface interactions and high energy bulk implantation and sputtering.
提出研究原子分子离子固体 在几个电子伏特和更高能量下的相互作用 (KeV)覆盖了热气体-表面相互作用之间的范围 以及高能体注入和溅射。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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