Plasmaätzanlage mit ICP-Anregung

带 ICP 激励的等离子蚀刻系统

• 批准号: 189565089
• 金额: --
• 依托单位: Technische Universität München (TUM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/189565089?language=en
• 关键词: Plasma; tzanlage; mit; ICP; Anregung

„Die Ätz- und Abscheideanlagen des Walter Schottky Instituts (WSI) wurden bei Institutsgründung Ende der 1980er Jahre erworben und durch sorgfältige Pflege und Wartung bis heute weitgehend einsatzbereit gehalten. Mit ihnen sind nach wie vor beachtliche Resultate möglich, jedoch nehmen alterungsbedingte Ausfälle in den letzten Jahren stark zu, was insbesondere aufgrund nicht mehr verfügbaren Hersteller-Supports zu teilweise inakzeptablen Ausfall- und Rüstzeiten führt und das Risiko des Totalausfalls birgt. Hinzu kommen konstruktionsbedingte Defizite, weshalb unsere über 20 Jahre alten Geräte für unsere aktuellen und geplanten Forschungsprojekte - vor allem im Bereich der Nanotechnologie - nicht mehr geeignet und im Vergleich zu modernen Anlagen nicht mehr konkurrenzfähig sind. Die Hauptprobleme wie unzureichende Homogenität der Ätztiefen, zu geringe Ätzraten bei unzureichender lateraler Strukturtreue sowie starke Unterätzung werden mit der geplanten Neubeschaffung aufgrund modernerer Konstruktion und besserer Ausstattung (u.a. Temperaturkontrolle) umfassend gelöst. Zusätzlich soll durch die Beschaffung umfangreicher in-situ-Diagnostik und die Kooperation mit Herrn Prof. Franz von der Hochschule München ein für unser Institut neues Forschungsgebiet nämlich die detaillierte Untersuchung von Plasmaprozessen eröffnet werden.“

“Die Ätz- and Abscheideanlagen des Walter Schottky研究所（WSI） wurden bei institutsgrgrnundung Ende der 1980 - er Jahre erworden and durch sorgfältige”承诺和Wartung ' s heute weitgehend einsatzereit gehalten。Mit ihnen sinch wih or beachtliche Resultate möglich, jedoch nehmen alterungsbedingte Ausfälle in den letzten Jahren stark zu，是inbesondere aufgrund nich mehr verf<s:1> -支持zu teilweise inakzeptablen Ausfall- und rstzeiten fhrt and das Risiko des Totalausfalls birgt。日本kommen konstruktionsbedizite，我们将在2016年9月26日在Jahre alten Geräte fahre unseere aktuellen和geplanten forschungsproject - or allem im berich der nanotechnology - nicht mehrgeeignet和im Vergleich zu modern Anlagen nichamehr konkurrenzfähig sind。Die Hauptprobleme wie unzureichende Homogenität der Ätztiefen, zu geringe Ätzraten bei unzureichender lateraler struckturtreue sowie starke Unterätzung werden mit der geplanten Neubeschaffung aufgrund modernerer construction and besserer Ausstattung (u.a temperature control) umfassend gelöst。Zusätzlich soll durch die Beschaffung umfangreicher in- situdiagnostik und die co - operation mit Herrn教授Franz von der Hochschule mnchen ein ficser neues Forschungsgebiet nämlich die detaillierte Untersuchung von Plasmaprozessen eröffnet werden。”