Plasmaätzanlage

他说：“我们将死在甘孜河流域，死在甘孜河流域。他说：“这是一件很重要的事情。在这场战争中，我们的合作伙伴不再是他们的合作伙伴，而是他们的技术合作伙伴，三-V-哈布利特，D.H.在我们的国家和地区，我们的国家和地区都是这样的国家和地区，这些国家和地区在我们的国家和地区都是这样的。

„Die Forschung des Lehrstuhls im Bereich der Optoelektronik und Photonik erfordert Halbleiterproben, die in ganz bestimmter Weise gewachsen und prozessiert werden müssen. Derzeit ist der Lehrstuhl komplett auf Probenzulieferungen durch Kooperationspartner angewiesen. Insbesondere die Proben-prozessierung war dadurch in der Vergangenheit durch die notwendige Einbeziehung externer Koope-rationspartner mit erheblichem zeitlichem Aufwand und häufig mit technischen Komplikationen ver-bunden und hat dadurch den Projektfortschritt erheblich verzögert.Mit diesem Antrag soll die Möglichkeit geschaffen werden, III-V- Halbleiterproben, d.h. insbesondere neue optoelektronische Bauelementkonzepte, nach speziellen eigenen Bedürfnissen zu prozessieren, indem die beantragte Plasmaätzanlage in einen gemeinsam mit dem Lehrstuhl für Werkstoffe und Nanoelektronik genutzten, im Rahmen der Renovierung der Ruhr-Universität gerade neu eingerichteten, Reinraumbereich eingebracht wird.“