Ionenstrahlätzanlage

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Das Institut für Festkörperelektronik der TU Dresden führt Forschungen und Entwicklungen auf dem Gebiet hochauflösender thermischer Infrarotsensoren durch. Derartige Sensoren werden weltweit millionenfach in Geräten zur Gasanalyse, der Sicherheitstechnik, der Gebäudeautomatisierung und der Wärmebildtechnik eingesetzt. In den letzten Jahren wurde am IFE das Ionenstrahlätzen zu einer Basistechnologie zur Herstellung hochauflösender pyroelektrischer Infrarotsensoren entwickelt. Das Ionenstrahlätzen wird dabei für Abdünnprozesse und die räumliche Strukturierung der pyroelektrischen Einkristalle im µm-Bereich sowie zur Strukturierung spezieller Metalldünnschichtsysteme genutzt. Mit Dicken der freitragenden strahlungsempfindlichen Elemente unter 5 µm werden internationale Spitzenwerte bezüglich der spezifischen Detektivität für Sensoren auf der Basis von Lithiumtantalat erreicht. Neueste Untersuchungen an dreidimensional strukturierten Chips zeigen viel versprechende Ergebnisse zur Steigerung der Empfindlichkeit von pyroelektrischen Sensoren. Das Ionenstrahlätzen wurde bisher mit einer Anlage durchgeführt, deren Betrieb aufgrund nicht mehr lieferbarer Ersatzteile und eines stark eingeschränkten Services durch Veeco nicht mehr abgesichert werden kann. Zum Anderen lassen die besseren technischen Eigenschaften neuer Anlagen eine deutliche Steigerung der Prozessausbeute und -zuverlässigkeit und der technologischen Möglichkeiten erwarten.