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Ionenstrahlätzanlage

离子束蚀刻系统

基本信息

批准号：
265561550
负责人：
金额：
--
依托单位：
Technische Universität Dresden
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2014
资助国家：
德国
起止时间：
2013-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/265561550?language=en
关键词：
Ionenstrahl tzanlage

项目摘要

Das Institut für Festkörperelektronik der TU Dresden führt Forschungen und Entwicklungen auf dem Gebiet hochauflösender thermischer Infrarotsensoren durch. Derartige Sensoren werden weltweit millionenfach in Geräten zur Gasanalyse, der Sicherheitstechnik, der Gebäudeautomatisierung und der Wärmebildtechnik eingesetzt. In den letzten Jahren wurde am IFE das Ionenstrahlätzen zu einer Basistechnologie zur Herstellung hochauflösender pyroelektrischer Infrarotsensoren entwickelt. Das Ionenstrahlätzen wird dabei für Abdünnprozesse und die räumliche Strukturierung der pyroelektrischen Einkristalle im µm-Bereich sowie zur Strukturierung spezieller Metalldünnschichtsysteme genutzt. Mit Dicken der freitragenden strahlungsempfindlichen Elemente unter 5 µm werden internationale Spitzenwerte bezüglich der spezifischen Detektivität für Sensoren auf der Basis von Lithiumtantalat erreicht. Neueste Untersuchungen an dreidimensional strukturierten Chips zeigen viel versprechende Ergebnisse zur Steigerung der Empfindlichkeit von pyroelektrischen Sensoren. Das Ionenstrahlätzen wurde bisher mit einer Anlage durchgeführt, deren Betrieb aufgrund nicht mehr lieferbarer Ersatzteile und eines stark eingeschränkten Services durch Veeco nicht mehr abgesichert werden kann. Zum Anderen lassen die besseren technischen Eigenschaften neuer Anlagen eine deutliche Steigerung der Prozessausbeute und -zuverlässigkeit und der technologischen Möglichkeiten erwarten.

Das Institut für Festkörpektronik der TU Dresden führt Forschungen und Entwicklungen auf dem Gebiet hochauflösender thermischer Infrarotsensoren durch. Derartige Sensoren韦尔登在气体分析、安全技术、Gebäudeautomatisierung和Wärmebildtechnik eingesetzt的Geräten领域价值数百万。在过去的几年里，IFE的离子辐射形成了一个热释电红外传感器的基础技术。该电离辐射将用于热释电晶体的外加工和内部结构，该热释电晶体的内部结构是由特定的金属结构组成的。5 µm以下的自由辐射元件的测试结果表明，钽酸锂基上的传感器的特殊检测能力是不正确的。最新的三维结构芯片的研究使得热释电传感器的性能得到了很大的提高。电离辐射在飞行过程中需要一个固定的位置，因此Betrieb的飞行员不能梅尔地使用传感器，而Veeco提供的服务也不能梅尔地使用韦尔登。Zum Anderen lassen die besseren technischen Eigenschaften neuer Anlagen eine deutliche Steigerung der Prozessausbeute und -zuverlässigkeit und der technologischen Möglichkeiten erwarten.