ICP-Ätzanlage
ICP-Ätzanlage
ICP蚀刻系统
批准号：
179283563
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位：
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2010
资助国家：
德国
项目状态：
未结题
起止时间：
2009-12-31 至 --
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英文摘要
„Die ICP-Ätzanlage ist für die Strukturierung nanoskaliger photonischer Bauelemente auf der Basis von III/V- und II/VI-Halbleitern zwingend notwendig. Das steilflankige Ätzen dieser Materialien erfordert den Einsatz von Ätzgasen auf Basis von Cl, Br und Methan. Die hohen Anforderungen an die Qualität der geätzten Strukturen (geringe Oberflächenrauhigkeit, geringe Schädigungen der Kristallstruktur), sowie häufig ein hohes Aspektverhältnis können nur mit einer Ätzanlage erfüllt werden, die mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle ausgestattet ist. Weitere Anwendungen der Anlage bestehen im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung von Perovskitmaterialien.“
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DOI：
10.1038/nphoton.2016.70
发表时间：
2016-06-01
期刊：
NATURE PHOTONICS
影响因子：
35
作者：
[Pyatkov, Felix, Fuetterling, Valentin, Pernice, Wolfram H. P.]
通讯作者：
Pernice, Wolfram H. P.
DOI：
10.1038/ncomms2710
发表时间：
2013-04-01
期刊：
NATURE COMMUNICATIONS
影响因子：
16.6
作者：
[Rath, Patrik, Khasminskaya, Svetlana, Pernice, Wolfram H. P.]
通讯作者：
Pernice, Wolfram H. P.
DOI：
10.1002/pmic.201200393
发表时间：
2013-01-01
期刊：
PROTEOMICS
影响因子：
3.4
作者：
[Osterman, Ilya A., Ustinov, Alexey V., Dontsova, Olga A.]
通讯作者：
Dontsova, Olga A.
DOI：
10.1103/physrevb.91.054523
发表时间：
2015-02-26
期刊：
PHYSICAL REVIEW B
影响因子：
3.7
作者：
[Braumueller, Jochen, Cramer, Joel, Weides, Martin]
通讯作者：
Weides, Martin
One-dimensional Josephson junction arrays: Lifting the Coulomb blockade by depinning
一维约瑟夫森结阵列：通过脱钉解除库仑封锁
一维约瑟夫森结阵列：通过脱钉解除库仑封锁
DOI：
10.1103/physrevb.92.045435
发表时间：
2015
期刊：
Physical Review B
影响因子：
3.7
作者：
[N. Vogt, R. Schäfer, H. Rotzinger, W. Cui, A. Fiebig, A. Shnirman, A. V. Ustinov]
通讯作者：
A. V. Ustinov
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