Selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten bei der Kodeposition niederenergetischer Metall- und Kohlenstoffionen

Me-C纳米复合材料的合成实验。(台湾)zeigten selbstogisiertes Wachstum Nanoskaliger Multilagenschichten。MIT PERIONALüngen Von Me-and C-ATOM MIT Energien um hundert EV sowohlüber IonenEndeposation of Sowohlüber EV aous Sputterdeding führe zu Multilagenschichten MIT Perioenlngen von Me-BZW.C-Konzentation MIT Perodenlngen von 10-20 nm。Das Phäonomen ist在文献《Beschrieben and wird für Au，Cu and Pt》中提供了Wissens Bisher niht，以及für Karbitbildende Metalle(Fe，Ni)beobachtet。它稳定了我的生活，改善了种族隔离，降低了它的流动性，降低了它的成本。这是一种新型的纳米材料，它具有良好的金属沉积性能和较高的温度。他说：“这是一件非常重要的事情。”我们是一家自行车式的企业，它的发展是一项新的技术和一项基础工作。

Experimente zur Synthese von Metall-Kohlenstoff (Me-C) Nanokompositen durch uns und Ting et al. (Taiwan) zeigten selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten. Die Kodeposition von Me- und C-Atomen mit Energien um hundert eV sowohl über Ionendeposition als auch Sputterdeposition führte zu Multilagenschichten mit periodisch variierender Me- bzw. C-Konzentration mit Periodenlängen von 10-20 nm. Das Phänomen ist unseres Wissens bisher nicht in der Literatur beschrieben und wird für Au, Cu und Pt als auch für karbidbildende Metalle (Fe, Ni) beobachtet. Die Stabilität von Me- bzw. Me- Karbidclustern gegenüber Ionenbestrahlung, die Effizienz der Segregation an der Filmoberfläche und damit verbunden die Me-Sputterausbeute scheinen dabei eine wichtige Rolle zu spielen. Es soll die selbstorganisierte Bildung nanoskaliger Multischichten bei der Kodeposition von Metall- und Kohlenstoffionen als Funktion von Energie, Ionenfluss, und Temperatur untersucht werden. Aus den Ergebnissen sollen allgemeine Vorhersagen zur Entstehung der Multilagen abgeleitet und Modelle zur Multilagenbildung entwickelt werden. Wir erwarten, dass dieser Selbstorganisationsprozess auch bei weiteren Kodepositionstechniken und auch für andere Elementkombinationen von Bedeutung ist.