Selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten bei der Kodeposition niederenergetischer Metall- und Kohlenstoffionen

低能金属和碳离子共沉积过程中纳米级多层薄膜的自组织生长

基本信息

项目摘要

Experimente zur Synthese von Metall-Kohlenstoff (Me-C) Nanokompositen durch uns und Ting et al. (Taiwan) zeigten selbstorganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten. Die Kodeposition von Me- und C-Atomen mit Energien um hundert eV sowohl über Ionendeposition als auch Sputterdeposition führte zu Multilagenschichten mit periodisch variierender Me- bzw. C-Konzentration mit Periodenlängen von 10-20 nm. Das Phänomen ist unseres Wissens bisher nicht in der Literatur beschrieben und wird für Au, Cu und Pt als auch für karbidbildende Metalle (Fe, Ni) beobachtet. Die Stabilität von Me- bzw. Me- Karbidclustern gegenüber Ionenbestrahlung, die Effizienz der Segregation an der Filmoberfläche und damit verbunden die Me-Sputterausbeute scheinen dabei eine wichtige Rolle zu spielen. Es soll die selbstorganisierte Bildung nanoskaliger Multischichten bei der Kodeposition von Metall- und Kohlenstoffionen als Funktion von Energie, Ionenfluss, und Temperatur untersucht werden. Aus den Ergebnissen sollen allgemeine Vorhersagen zur Entstehung der Multilagen abgeleitet und Modelle zur Multilagenbildung entwickelt werden. Wir erwarten, dass dieser Selbstorganisationsprozess auch bei weiteren Kodepositionstechniken und auch für andere Elementkombinationen von Bedeutung ist.
金属-科伦斯托夫 (Me-C) 纳米复合材料的合成实验(台湾)zeigten selforganisiertes Wachstum nanoskaliger Multilagenschichten。 Me- 和 C-Atomen 的 Kodeposition 与 Energien um hundert eV sowohl über Ionendposition als auch Sputterdeposition führte zu Multilagenschichten mit periodisch variierender Me-bzw。 C-Konzentration mit periodenlängen von 10-20 nm。 Das Phänomen ist unseres Wissens bisher nicht in der Literatur beschrieben und wird für Au, Cu und Pt als auch für karbidbildende Metalle (Fe, Ni) beobachtet. Die Stabilität von Me- bzw。 Me-Karbidclustern gegenüber Ionenbestrahlung,die Effizienz der Segregation an der Filmoberfläche und damit verbunden die Me-Sputterausbeute scheinen dabei eine wichtige Rolle zu spielen。它是金属自沉积和固体材料的多种纳米结构的自组织培养,具有能量、离子流和温度等功能。 Aus den Ergebnissen sollen allgemeine Vorhersagen zur Entstehung der Multilagen abgeleitet und Modelle zur Multilagenbildung entwickelt werden.在此过程中,您可以自行组织进行编码沉积技术和元素组合。

项目成果

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