Synthese, Struktur und Eigenschaften von fluorhaltigem tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoff

含氟四面体非晶碳的合成、结构与性能

• 批准号: 5169244
• 负责人: Professor Dr. Hans Christian Hofsäss
• 金额: --
• 依托单位: II. Physikalisches Institut - Atom- und Kernphysik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5169244?language=en
• 关键词: Synthese; Struktur; und; Eigenschaften; von

Schichten aus fluorhaltigem amorphen Kohlenstoff (a-C:F) sind von wachsendem technologischen Interesse für tribologische Anwendungen und als Zwischenschichtdielektrikum in integrierten Schaltkreisen. In dem beantragten Vorhaben soll das Wachstum, die Bindungsstruktur und die Eigenschaften von a-C:F-Schichten sowohl experimentell als auch theoretisch mit Hilfe von Molekulardynamiksimulationen (MD) untersucht werden. Schichten sollen mit massenselektierter Ionenstrahlsynthese hergestellt werden. Wegen der sehr gut definierten Depositionsbedingungen können so Korrelationen zwischen Depositionsbedingungen, Schichteigenschaften und Bindungsstruktur untersucht werden. Wichtiges Ziel ist die Synthese und Charakterisierung von tetraedrisch gebundenem a-C:F (ta-C:F) das teflonartige und diamantartige Eigenschaften vereinen könnte. Die Eignung von ta-C:F als streßarme diamantartige Beschichtung und als Dielektrikum soll untersucht werden. Für Fluor-Kohlenstoffsysteme sollen Datensätze für MD-Simulationen basierend auf der DF-TB-Methode entwickelt werden, um dann Modelle für (t)a-C:F-Strukturen systematisch in Abhängigkeit von Dichte und Fluorgehalt zu untersuchen. Ein Phasendiagramm der stabilsten Atomanordnungen bei vorgegebener Dichte und Stöchiometrie soll erstellt und mit der experimentell beobachteten Bindungsstruktur verglichen werden.

采用非晶柯伦斯托夫（a-C：F）荧光标记的摩擦学传感器是摩擦学研究和摩擦学综合应用中的一项重要技术。在这种情况下，a-C：F-Schichten的结合结构和特征结构也可以用分子动力学模拟（MD）的方法进行实验和理论研究。Schichten sollen mit massenselektierter Ionenstrahlsynthese hergestellt韦尔登. Wegen der sehr gut definitionsbedingungen können so Korrelationen zwischen Depositionsbedingungen，Schichteigenschaften und Bindungsstruktur untersucht韦尔登. Wichtiges Ziel是a-C：F（ta-C：F）四元化合物的合成和特性，它具有聚四氟乙烯和金刚石的特性。塔-C的特点是：F是坚硬的金刚石，而Dielektrikum则是韦尔登。基于DF-TB-方法的Fluor-Kohlenstoff系统的MD-Simulationbasedauf der DF-TB-Methodedentwickelt韦尔登，在Abhängigkeit von Dichte和Fluorgehalt zu untersuchen中建立了a-C：F-Strukturen系统模型。一个稳定原子能的阶段是由一个充满活力的Dichte和Stöchiometrie来完成的，并通过实验来观察韦尔登的结合结构。