Development of novel materials surface modification/fabricationTechnology with a use of supercritical fluid ion beam

利用超临界流体离子束开发新型材料表面改性/制造技术

• 批准号: 24656436
• 负责人: TERASHIMA Kazuo
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24656436/
• 关键词: プラズマ処理; レーザー加工; イオンビーム; 超臨界イオンビーム; 超臨界流体プラズマ; 材料表面加工; 表界面プロセス工学

In this study, fabrication of supercritical fluid ion (ion beam), spectroscopic diagnostics of supercritical fluid plasma as ion source, and its application to materials surface treatment/fabrication process were performed. Then, totally, the nature of high-performance process nature, such as its low-temperature process and environmental friendly process, were confirmed. As a result, the possibility of innovative high-performance materials surface treatment/fabrication process was demonstrated.

本论文主要研究了超临界流体离子（束）的制备、超临界流体等离子体作为离子源的光谱诊断及其在材料表面处理/制备工艺中的应用。然后，从总体上肯定了高性能工艺的本质，如低温工艺和环境友好工艺。因此，创新的高性能材料的表面处理/制造工艺的可能性被证明。

项目成果

まとめ：超臨界クラスター流体の材料科学 －プラズマプロセスのナノスケール揺らぎ－

摘要：超临界团簇流体的材料科学 - 等离子体过程中的纳米级波动 -

• 作者: M. Huda;J. Liu;Y. Yin;S. Hosaka;寺嶋和夫;上田 恭介;寺嶋和夫
• 通讯作者: 寺嶋和夫

ナノ界面プラズマの創成

纳米界面等离子体的创建

• 发表时间: 2013
• 作者: M. Huda;J. Liu;Y. Yin;S. Hosaka;寺嶋和夫
• 通讯作者: 寺嶋和夫

超臨界クラスター流体の材料科学-プラズマプロセスのナノスケール揺らぎ応用物理学会

超临界团簇流体材料科学 - 等离子体过程中的纳米级涨落 日本应用物理学会

• 发表时间: 2013
• 作者: Kentaro Jinno;Masako Ikeuchi;Yoshikazu Ohara;Kazushi Yamanaka;寺嶋和夫
• 通讯作者: 寺嶋和夫