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雑音を用いた金属-GaAs界面近傍の欠陥の測定

雑音を用いた金属-GaAs界面近傍の欠陥の測定
使用噪声测量金属-GaAs 界面附近的缺陷
批准号：
06650036
负责人：
鈴木 哲
金额：
$1.09万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1994 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06650036/
关键词：
雑音GaAs界面欠陥

项目摘要

项目成果

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本研究では、金属-GaAs界面近傍の欠陥を感度良く測定するために、先ず直径0.3μmのショットキ・ダイオードの製作プロセスの改善を行い、次に、深い準位をもつ金を不純物としてGaAs表面に拡散させたダイオードの雑音の測定を試みた。1 従来用いていた電子ビームレジストは、耐ドライエッチ性が十分でないだけでなく、材料にフッ素を含んでいるため、試料表面にポリマーが堆積しやすく、ドライエッチング後のプロセスの不安定性の原因となっていた。このポリマーは、ドライエッチング、表面クリーニング、エピ層陽極酸化-エッチング、ショットキ電極メッキ等の工程で影響を与え、均一性の良いダイオード製作の妨げになっていた。そのため、ダイオードの雑音特性を測定する際、データーの再現性を得ることが困難であった。2 今回新たにノボラック系の電子ビームレジストの供給(試作品)を受け、耐ドライエッチ性が飛躍的に向上していること、ポリマーの堆積も少なくポリマーが酸素プラズマやオゾン等を使用せずともほぼ除去できること、が明らかになり、均一性の良いダイオードを製作できるようになった。3 雑音と金属-GaAs界面近傍の欠陥との関係を定量的に明らかにするため、不純物として金をGaAs表面に拡散させたダイオードを製作した。先ず、温度500度C、1時間の条件で拡散させた場合についてダイオードの雑音特性を測定したが、現在のところ、拡散した金による明らかな雑音特性の変化は観測されていない。今後、拡散の条件を変えたり、不純物としてインジュームを用いた場合について、雑音特性の変化を求め、雑音と欠陥の関係を定量的に明らかにする予定である。
期刊论文(10)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
J.J.Chang: "Fabrication of GaAs Sohottky-Barrier Diodes Mixer/Detector for the Terahertz Region" The 19th International Conterence on Infraved and Millimeter Waves. 35-36 (1994)
J.J.Chang：“太赫兹区域的 GaAs 索霍特基势垒二极管混频器/探测器的制造”第 19 届国际红外和毫米波会议。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
鈴木 哲: "TH_z帯検出器/ミキサ-用ショットキ・ダイオードの開発" 電子情報通信学会 秋季大会講演論文集. 2. 94 (1994)
Satoshi Suzuki：“用于 TH_z 波段检测器/混频器的肖特基二极管的开发”IEICE 秋季会议论文集。2. 94 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Nozokido: "Optimization of A Schottlay Barrier Mixer Disde in The Submillimetter Wave Region" International Journal of Infraved and Millimeter Waves. Vol.15. 1851-1866 (1994)
T.Nozokido：“亚毫米波区域肖特莱势垒混合器的优化”国际红外线和毫米波杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
C.M.Mann: "Measurement and Study of The Emluding Impedance Presented lythe Whisleer Antenna of A Schottly Diode CornerCube Mixer" International Journal of Infvaved and Millimeter Waves. Vol.15. 1867-1882 (1994)
C.M.Mann：“肖特利二极管 CornerCube 混频器的 Whisleer 天线的 Emluding 阻抗的测量和研究”国际 Infvaved 和毫米波杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Continuous estimation of pulmonary artery pressure fluctuations based on non-invasive measurement using microwave radar
  • 批准号：
    22K12917
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.66万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    鈴木 哲
  • 依托单位：
    Kansai University
Soft X-ray spectroscopy of micro- and nanobubbles
  • 批准号：
    22K04930
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    鈴木 哲
  • 依托单位：
    University of Hyogo
コンピューターリテラシーを援用して量子無機化学基礎教育を補完する演習教材の集成
  • 批准号：
    23915019
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.38万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    鈴木 哲
  • 依托单位：
励起電子状態計算に基づいたJ会合体の色素増感機構の研究
  • 批准号：
    20915020
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 资助金额：
    $0.36万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    鈴木 哲
  • 依托单位：
国内基金
海外基金
GaAs基半导体微结构的界面热传导特性研究
  • 批准号：
    11904162
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    27.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    颜学俊
  • 依托单位：
    南京大学
GaNAs/GaAs量子阱激子界面效应的磁光调制光谱研究
高性能GaAs基VESCEL外延材料中异质界面成分•结构调控
  • 批准号：
    21972103
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    65.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    许并社
  • 依托单位：
    太原理工大学
GaAs基量子阱/量子点激光器外延材料中界面结构调控机制与性能研究
  • 批准号：
    61904120
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    23.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    董海亮
  • 依托单位：
    太原理工大学