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High functional telecommunication devices using MEMS technology

High functional telecommunication devices using MEMS technology
采用 MEMS 技术的高性能电信设备
批准号：
17068002
负责人：
HANE Kazuhiro
金额：
$43.46万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2005
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2005 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17068002/
关键词：
光通信波長選択フィルタMEMSマイクロアクチュエータシリコンMEMSサブ波長格子くし型アクチュエータ可変フィルタフォトニック結晶フォトニック構造シリコン

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项目成果

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英文摘要
MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.
期刊论文(85)
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科研奖励(0)
会议论文
Micromachined surface emitting dye laser with a serf-suspended guided mode resonant grating
具有自悬浮导模谐振光栅的微加工表面发射染料激光器
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： J. Opt. A: Pure Appl. Opt Vol. 9
影响因子： --
作者： [N.Matsuyama, Y.Kanamori, J-S.Ye, K.Hane]
通讯作者： K.Hane
Mechanical-contact-based submicron- Si- waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths
电信波长下基于机械接触的亚微米硅波导光学微开关
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane]
通讯作者： K.Hane
Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelength
电信波长自支撑变节距导模谐振光栅滤波器
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Y.Kanamori, N.Matsuyama, J.-S.Ye, K.Hane]
通讯作者： K.Hane
Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor
使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [M.Sasaki, M.Tabata, K.Hane]
通讯作者： K.Hane
共 64 条
    Study of optical micro systems by monolithic integration of silicon with nitride semiconductor
    • 批准号：
      19106007
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • 资助金额：
      $69.64万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      HANE Kazuhiro
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Tunable photonic devices fabricated by micro-nano machining for optical communication
    • 批准号：
      14102022
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • 资助金额：
      $68.64万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      HANE Kazuhiro
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Fabrication of micro rotary encoder for robot finger and precision machines
    • 批准号：
      11355018
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $18.67万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      HANE Kazuhiro
    • 依托单位：
      Tohoku University
    STUDY OF ULTRA-FINE STRUCTURED OPTICAL COMPONENTS USIING MICROMACHINING
    • 批准号：
      10305020
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $25.22万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      HANE Kazuhiro
    • 依托单位：
      TOHOKU UNIVERSITY