High functional telecommunication devices using MEMS technology

采用 MEMS 技术的高性能电信设备

• 批准号: 17068002
• 负责人: HANE Kazuhiro
• 金额: $ 43.46万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17068002/
• 关键词: 光通信; 波長選択フィルタ; MEMS; マイクロアクチュエータ; シリコンMEMS; サブ波長格子; くし型アクチュエータ; 可変フィルタ; フォトニック結晶; フォトニック構造; シリコン

MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.

MEMS technology, fine three-dimensional structure, high functionality, high optical communication technologyをResearch した. The specific にはSi self-standing lattice を is made by いた光フィルタを, and the lattice period is を変tuned できることを Show しLight. The high-functionality high-performance angle switch equipped with a low-voltage electric motor is researched and researched.

项目成果

Micromachined surface emitting dye laser with a serf-suspended guided mode resonant grating

具有自悬浮导模谐振光栅的微加工表面发射染料激光器

• 发表时间: 2007
• 期刊: J. Opt. A: Pure Appl. Opt Vol. 9
• 作者: N.Matsuyama;Y.Kanamori;J-S.Ye;K.Hane
• 通讯作者: K.Hane

Mechanical-contact-based submicron- Si- waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths

电信波长下基于机械接触的亚微米硅波导光学微开关

• 发表时间: 2007
• 作者: E.Bulgan;Y.Kanamori;K.Hane
• 通讯作者: K.Hane

Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelength

电信波长自支撑变节距导模谐振光栅滤波器

• 发表时间: 2007
• 作者: Y.Kanamori;N.Matsuyama;J.-S.Ye;K.Hane
• 通讯作者: K.Hane

Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor

使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度

• 发表时间: 2007
• 作者: M.Sasaki;M.Tabata;K.Hane
• 通讯作者: K.Hane

Optical MEMS and NEMS : Thin film micro/nano machining and integration

光学MEMS和NEMS：薄膜微/纳米加工和集成

• 发表时间: 2006
• 作者: K.Takahashi;Y.Kanamori;K.Hane;K.Hane
• 通讯作者: K.Hane