表面顕微鏡法による表面の観察と解析

使用表面显微镜进行表面观察和分析

• 批准号: 63609509
• 负责人: 八木 克道
• 金额: $ 24.96万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63609509/
• 关键词: 表面顕微鏡法; 反射電顕法; 透過電顕法; STM; FIM; Si(111)7X7; 表面エレクトロマイグレーション; アトムプローブ; 高温超伝導体; Si(001)2X1

1.第一の分担課題:今年度は電顕本体を導入した。表面の観察の成果を列挙する。(a)表面エレクトロマイグレーションの反射電顕法による観察では、In.AuがSi(111)7X7上をそれぞれ電流方向、逆方向に移動する詳細を観察し、吸着構造上の移動とともに清浄表面上の移動がAuの場合顕著に起こることを見いだした。(b)(a)と関連する現象として河野らが見いだしたSi(001)2X1表面の優勢分域の電流方向依存の現象を反射電顕法で観察し、下地と同種の吸着原子の表面エレクトロマイグレーションとその表面構造を反映した異方性で現象が説明出来ることを見いだした。(c)高分解能反射電顕法でDAS構造の吸着原子列に対応する像を得ることに成功した。2.第二の分担課題:FIMとアトムプローブによる高温超伝導材料の構造と組成を観察し、層状構造を伺える観察結果を得た。また、Ptテイップとの界面では、CuとPtとの混合層の形成が認められた。また、様な手法をSTMの走査用探針先端の評価に用い、汚染が少ないと考えられていたPt-Ir針においても加熱-電解蒸発が望ましいこと、汚染と形状変化を抑えるための、探針の接近方法の条件を見いだした。3.表面構造の観察、および相変化、吸着などの動的過程観察のための高分解能超高真空電子顕微鏡法、並びにSTM法の開発を行った。反射法では、Si(111)7X7構造のダイマー列が黒い格子縞位置と一致することを回析理論から示し、これらの位置はステップ位置と一致することを示した。透過法では、pdの吸着で形成される/3構造のトライマーが回転した構造をとることを見いだした。STMでは電顕に組み込める超小型の装置を用いて、グラファイトのα、β位置の識別条件を見いだした。Si(111)の観察も可能な装置であることがわかり、電顕との組合せたその観察を今後発展させる。

1. First, the shared project: This year, the <s:1> electrical 顕 body を will be introduced to <s:1> た. The surface 観 観 examines the results of the を column 挙する. (a) surface エ レ ク ト ロ マ イ グ レ ー シ ョ ン の reflection 顕 method に よ る 観 examine で は, In Au が on Si (111) 7 x7 を そ れ ぞ れ current direction, reverse direction に mobile す る detailed を 観 し, sorption structure on の mobile と と も に cleaning on the surface at の mobile が Au 顕 の occasions since the に こ る こ と を see い だ し た. (b) (a) と masato even す る phenomenon と し て kono ら が see い だ し た Si (001) 2 x1 surface の advantage points domain の current direction dependent を の phenomenon reflected electric 顕 method で 観 と し, down the same の の surface sorption atoms エ レ ク ト ロ マ イ グ レ ー シ ョ ン と そ の surface structure を reflect し た square difference で phenomenon が explain out る こ と を see い だ し Youdaoplaceholder0. (c) The construction of the <s:1> adsorbed atomic sequence に for the 応する image を by the high decomposition energy reflection-electric 顕 method でDAS successfully た た. 2. の share the topic 2: FIM と ア ト ム プ ロ ー ブ に よ る high-temperature super 伝 guide の structure of と を 観 し, layered structure を bar え る た を 観 examine results. Youdaoplaceholder0, Ptテ ップと ップと <s:1> interface で が, CuとPtと <s:1> mixed layer <e:1> forms が recognition められた. ま た, others な gimmick を STM の walkthrough apex の evaluation with a probe 価 に い, less pollution が な い と exam え ら れ て い た Pt - Ir needle に お い て も heating steam - electrolytic 発 が hope ま し い こ と, pollution と shape - を え suppression る た め の, probe の close の conditions を see い だ し た. 3. The surface structure の 観 examine, お よ び phase variations, the sorption な ど の dynamic process 観 examine の た め の high decomposition can ultra high vacuum electronic 顕 micro lens method, and び に STM method の open 発 を line っ た. Reflection method で は, Si (111) 7 x7 structure の ダ イ マ ー column が black stripe い grid position と consistent す る こ と を back analysis theory か ら し, こ れ ら の position は ス テ ッ プ consistent position と す る こ と を shown し た. Through the method of で は, pd の sorption で form さ れ る / 3 tectonic の ト ラ イ マ ー が back planning し た tectonic を と る こ と を see い だ し た. STM で は electric 顕 に group み 込 め る subminiature を の device with い て, グ ラ フ ァ イ ト の alpha, beta, position の recognition criteria を see い だ し た. Si (111) の 観 examine も may な device で あ る こ と が わ か り, electricity 顕 と の combination せ た そ の 観 examine を future 発 exhibition さ せ る.

项目成果

O.Nishikawa: J.Vac.Sci.Tech.A6. 454-465 (1988)

O.Nishikawa：J.Vac.Sci.Tech.A6。

K.Akiyama: Surface Science. 205. 177-186 (1988)

K.Akiyama：表面科学。

A.Yamanaka: Ultramicroscopy. 29. (1989)

A.Yamanaka：超显微镜检查。

K.Kahata: Jpn.Appl.Phys.Letters. 28. (1989)

K.Kahata：Jpn.Appl.Phys.Letters。

O.Nishikawa: Phys.Rev.B37. 3685-3687 (1988)

O.Nishikawa：Phys.Rev.B37。