表面顕微鏡法による表面の観察と解析

使用表面显微镜进行表面观察和分析

• 批准号: 62609511
• 负责人: 八木 克道
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62609511/
• 关键词: 表面顕微鏡; 光電子顕微鏡; シリコン表面; アトムプローブ; STM; 反射電顕法; 表面エレクトロマイグレーション

本研究は, (1)電子, 光電子顕微鏡法の開発とその表面研究への応用, (2)STM型電子顕微鏡法による表面に局存した電子状態の観察, (3)FIMによる吸着膜の構造の観察の3つよりなる. それぞれ今年度は計画の年であるので, 今年度の実績は既存の研究装置による研究成果である. 八木らは, SiCIII)面に酸素をさらしたときの表面構造の変化を調べ, SiOの形成と界章によるくぼみ形成から表面拡散に関する知見を得た. またPt上に成長したAu層のコントラストを動力学回折理論を用いて解析した. その結果コントラストはPtPy間に比べてPt-Au層間の間隔が広いためであることが解った. 一方, 重点領域へ他の研究者との協力を得て表面エレクトロマイグレーションの反射電顕法による観察を行い, Auの場合5×1構造が電流と逆方向にしTuの場合5×1構造が電流の方向に移動するのが観察された. 高柳らは, 反射電顕法を用いて相変態, 吸着過程を調べた. 特にPdの^<83>構造はTuBt層となっていることをはじめて見い出した. 一方現在開発中のSTMについては原子しベルの分確能があることを確認している. 西川らはポリピロールの酸化のミクロプロセスをアトムプローブFIMで解析して新しい知見をえている.

This study is aimed at: (1) the application of electron and photoelectron microscopy to surface investigation;(2) the observation of electron states in the surface by STM electron microscopy;(3) the observation of the structure of sorption films by FIM. This year's performance is against existing research facilities. Yagi, SiCIII) Surface structure of the element to adjust, SiO formation and boundary chapter to form the surface dispersion of knowledge. The theory of dynamical regression is applied to the analysis of Au layer growth. As a result, the Pt-Au interlayer spacing is higher than that of the Pt-Au interlayer spacing. On the other hand, in the key field, other researchers and collaborators have been working together to investigate the surface current and the reflection current method. In the case of Au 5×1 structure, the current moves in the opposite direction. In the case of Au 5 × 1 structure, the current moves in the opposite direction. The reflection method is used to modulate the adsorption process. The structure of Pd <83>and Bt layers is different. A party is now developing STM to confirm the atomic identity of the component. NISHIKAWA'S NEW ANALYSIS OF THE ACIDITY OF THE PAPER

项目成果

西川 治: J.Chem.Phys.85. 6758-6764 (1986)

西川修：J.Chem.Phys.85 6758-6764 (1986)。