课题基金 / 基金详情

反射電子顕微鏡法によるイオンスパッター過程のその場観察

反射電子顕微鏡法によるイオンスパッター過程のその場観察
使用反射电子显微镜原位观察离子溅射过程
批准号：
60220007
负责人：
八木 克道
金额：
$1.92万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1985
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1985 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-60220007/
关键词：
反射電顕法FABイオンスパッター表面ステップ

项目摘要

项目成果

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本研究は表面1原子層レベルの観察を行うことが出来る反射電顕法をイオンスパッター過程のその場観察に応用することによってスパッター過程の表面現象とアニール過程の表面変化を明らかにすることを目的として立案された。本年度はFABガンを購入し電顕に取付けられるようガンチェンバーを試作した。FABガンを選んだ理由は (1)対物レンズの磁場で曲げられない、(2)スパッター中イオン電流などによる試料まわりの電界・磁界の乱れ、従って像質の劣化が起らない、等にある。頭初、超高真空電顕試料室の真空の劣化を除去するため、ターボ分子ポンプによるガンチェンバーの差動排気を考えたが、予算の関係で断念した。結果として 【10^(-6)】torr台の高い圧力まで試料室の真空が上昇した。本年度はPt(111)表面のスパッター過程を観察した。表面を清浄化した後スパッターすると (1)20秒ほどで表面の単原子層高さのステップのコントラストが消失し、10原子層高さのステップがわずかにそのコントラストを残している。反射回折像はストリークを示し、菊池線など消失する。これらは、スパッターによって表面の乱れが大きくなったためと解宙される。アニール過程をまとめると、250℃でステップがあらわれる。400℃でステップの下段階が平担になり元の結晶性を回復する。650℃で広いテラスでも回復がすすみ800℃で完全に平担な表面にもどるが、ステップの位置はスパッター量だけ移動した。
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Thin Solid Films. 126-1. (1985)
固体薄膜。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Jpn.J.Appl.Phys.24-Suppl. (1985)
Jpn.J.Appl.Phys.24-增刊。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Ultramicroscopy. 18-2. (1985)
超显微镜检查。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Ferroelectries. 64-1. (1985)
铁电。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
表面、界面-異なる対称性の接点の物性
  • 批准号：
    08NP1201
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Creative Basic Research
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    八木 克道
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
表面・界面-異なる対称性の接点の物性
  • 批准号：
    09NP1201
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Creative Basic Research
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    八木 克道
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
表面・界面-異なる対称性の接点の物性
  • 批准号：
    07NP1501
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Creative Basic Research
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    八木 克道
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
表面における光化学反応過程のREM-PEEM観察
  • 批准号：
    06239221
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    八木 克道
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
国内基金
海外基金
Fab糖基化IgG促进巨噬细胞IL-10表达在乳腺癌微环境中的作用研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    15.0万元
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    许茜
  • 依托单位：
    汕头大学
油桐FAB2和SCD协同酰基-ACP硫酯酶促进α-桐酸形成的分子机理研究
  • 批准号：
    2023JJ30992
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    陈昊
  • 依托单位：
    中南林业科技大学
Fab糖基化IgG调节巨噬细胞极化在乳腺癌生长转移中的作用机制研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    许茜
  • 依托单位：
    汕头大学
AT-Hook转录因子AHL23调节花生油酸合成基因FAB2表达的分子机制研究