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反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

基本信息

批准号：
63632007
负责人：
板谷良平
金额：
$ 2.56万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632007/
关键词：
プラズマプロセシング反応性プラズマプラズマの制御

项目摘要

本課題は、昭和63年度からスタートした、重点領域研究「反応性プラズマの制御」の総括班として、当領域の研究の方向付けと進展を図るものである。そこで、本年度は初年度として、昭和63年5月初旬に計画研究班の会議を持ち、当初計画の見直しと本年度の実行計画の確認とを行なった。次いで、6月初旬に公募研究班の会議をもち、本領域研究の意図するところを説明し、各公募研究課題について討論し、研究の方向付けを行なった。9月下旬には、次年度の研究費申請を前にして計画研究班の研究進行状況の検討会を開き、それに引き続いて総括班会議を持ち、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。この時の研究の進行状況はほぼ予定通りであり、又、計画研究の各班の間の連携もまずは順調であった。特に組織化を必要とするプラズマ内反応素過程、マイクロ波プラズマ生成、ならびに反応性プラズマ内のプローブ測定については、それぞれ12月から1月にかけて、小人数の研究会を持ち、研究の方向、課題の吟味、分担の確認を行なった。又、研究成果が上がりつつある、反応性プラズマのレーザー分光計測、並びにプラズマのモデリングについては、3月中旬に研究会を持ち、成果の検討を行なった。平成元年1月下旬には、今年度の研究成果報告会を第6回プロセシングプラズマ研究会と合同で開いた。まず、各研究代表者がそれぞれの研究の目的と成果について口頭で報告し、次いで、ポスターセッションにて、各研究分担課題毎に詳細な報告を行なった。この報告会には、産業界からも100名を超える参加者があった。これらの成果は第6回プロセシングプラズマ研究会論文集に収録された。この報告会の原稿にその後の成果等を加えて本年度の研究成果報告書とした。また、領域全体の活動状況のPRのため、ニュースレターを2回発行した。

This project focuses on the research of "anti-corruption control" in Showa 63, and the research direction and progress in the current field. The meeting of the planning and research class was held in early May 2006, and the implementation plan of the current year was confirmed. In the second half of June, the meeting of the public offering research class was held, the research intention of this field was explained, the public offering research topics were discussed, and the research direction was carried out. In late September, the research fee application for the first and second years will be held in advance of the discussion meeting on the research progress of the planned research class, and the basic policy for the research fee application for the second year will be decided. The progress of this research is scheduled to be communicated, and the connection between the classes of planned research is scheduled to be adjusted. Special organization is necessary to determine the internal reaction process, wave generation, internal reaction measurement, December to January, small number of research meetings, research direction, topic description, and identification. In addition, the research results are on the rise, and the spectrometer measurement is carried out. The research meeting will be held in the middle of March, and the results will be discussed. In late January of the first year of Heisei, the sixth session of the research results report meeting was held. Each research representative shall submit an oral report on the objectives and results of the research, and a detailed report on the research project. 100 participants from industry and industry The results of this research were recorded in the 6th edition of the symposium. This year's research results report will be added to the original report. The PR of the whole activity status of the domain is reported in 2 replies.