反应等离子体的控制-猫眼课题宝

反应等离子体的控制

批准号：

63632007

负责人：

板谷良平

金额：

$2.56万

依托单位：

Kyoto University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

财政年份：

1988

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1988 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632007/

关键词：

プラズマプロセシング反応性プラズマプラズマの制御

项目摘要

项目成果

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英文摘要

本課題は、昭和63年度からスタートした、重点領域研究「反応性プラズマの制御」の総括班として、当領域の研究の方向付けと進展を図るものである。そこで、本年度は初年度として、昭和63年5月初旬に計画研究班の会議を持ち、当初計画の見直しと本年度の実行計画の確認とを行なった。次いで、6月初旬に公募研究班の会議をもち、本領域研究の意図するところを説明し、各公募研究課題について討論し、研究の方向付けを行なった。9月下旬には、次年度の研究費申請を前にして計画研究班の研究進行状況の検討会を開き、それに引き続いて総括班会議を持ち、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。この時の研究の進行状況はほぼ予定通りであり、又、計画研究の各班の間の連携もまずは順調であった。特に組織化を必要とするプラズマ内反応素過程、マイクロ波プラズマ生成、ならびに反応性プラズマ内のプローブ測定については、それぞれ12月から1月にかけて、小人数の研究会を持ち、研究の方向、課題の吟味、分担の確認を行なった。又、研究成果が上がりつつある、反応性プラズマのレーザー分光計測、並びにプラズマのモデリングについては、3月中旬に研究会を持ち、成果の検討を行なった。平成元年1月下旬には、今年度の研究成果報告会を第6回プロセシングプラズマ研究会と合同で開いた。まず、各研究代表者がそれぞれの研究の目的と成果について口頭で報告し、次いで、ポスターセッションにて、各研究分担課題毎に詳細な報告を行なった。この報告会には、産業界からも100名を超える参加者があった。これらの成果は第6回プロセシングプラズマ研究会論文集に収録された。この報告会の原稿にその後の成果等を加えて本年度の研究成果報告書とした。また、領域全体の活動状況のPRのため、ニュースレターを2回発行した。

期刊论文(2)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

加藤勇: "Proceedings of 6th Symposium on Plasma Processing" プラズマエレクトロニクス研究会, 596 (1989)

Isamu Kato：“第六届等离子体处理研讨会论文集”等离子体电子研究组，596（1989）

DOI： --

发表时间：

期刊：

影响因子： --

作者：

[]

通讯作者：

反応性プラズマの制御(とりまとめ)

批准号：

03299112
项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
资助金额：

$1.86万
财政年份：

1991
负责人：

板谷良平
依托单位：

Kyoto University

プロセス用プラズマのシース

批准号：

03302025
项目类别：

Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
资助金额：

$10.11万
财政年份：

1991
负责人：

板谷良平
依托单位：

Niihama National College of Technology (1993)Kyoto University (1991-1992)