反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

• 批准号: 01632008
• 负责人: 板谷 良平
• 金额: $ 3.2万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632008/
• 关键词: プラズマプロセシング; 反応性プラズマ; プラズマの制御

本課題は昭和63年度からスタートした重点領域研究「反応性プラズマの基礎」の総括班として、当領域の研究の方向付けと促進を図るものである。そこで本年度は、第2年度として平成元年5月初旬に平成元年度第1回の計画研究班会議を開き、昨年度の研究成果の点検と本年度の実行計画の確認とを行なった。ついで、本年度新規公募研究の多い班の方向付けを行なうために、表面反応と計測に関係する研究会をそれぞれ6月中旬と下旬とに開催した。8月下旬に、研究成果中間報告会を京都府下で開催し、計画研究並びに公募研究について進行状況の報告を求め、それに関する討論を行なった。10月上旬に第2回計画研究班会議を開き、計画研究の8月以降の研究の進行状況について報告を聞いた上で、次年度の研究費申請方針について検討し、申請原案を作成した。この原案について総括班会議を開き、次年度の研究費申請の基本方針を決定した。更に、10月末日に開催された重点領域研究の進行状況検討会に提出する資料の作成会を開き、その準備を行なった。平成2年1月23〜24日には今年度の研究成果報告会を第7回プロセシングプラズマ研究会に先立ちこれと合同で開催した。今回は総べてオーラルとし、ポスター方式は採らず、予稿集を用意した。この報告会には、特にPRしなかったにも拘らず、産業界から100名に近い参加者があった。1月26日に第2回総括班会議を開き、今年度の研究成果の評価を行ない、最終年度の方向付けについて議論した。本年度の成果報告書は、昨年度とは異にし、上記の予稿集とは別に英文で作成した。領域全体の活動のPRのためのニュースレターの発行は1回のみとなった。

This topic は showa 63 か ら ス タ ー ト し た key research "anti 応 プ ラ ズ マ の basis" の 総 enclosed class と し て, の の research direction in the field of when to pay け と promote を 図 る も の で あ る. そ こ で は this year, 2 year と し て in May of the first year of pp.47-53 ChuXun に pp.47-53 yuan plan の back 1 year seminar meeting を き research achievements, yesterday's annual の の point 検 と の this year be line project の confirm と を line な っ た. つ い で, this year's new rules on public offering research の の direction い class pay more け を line な う た め に, surface anti 応 と measuring に masato is す る seminar を そ れ ぞ れ mid-june in late と と に open rush し た. に in late August, research center report を under Kyoto で し, plans to study and open び に public offering research に つ い て in state の を め, そ れ に masato す る discuss を line な っ た. In early October に back 2 project seminar meeting を き, project research の August onwards の research の condition に つ い て report を smell い た で, annual の research application guidelines に つ い て beg し 検, apply for the original を made し た. <s:1> the original plan に に て総 て総 て総 included the class meeting を held に, the application for <s:1> research funds for the next year <s:1> basic policy を was decided and <s:1> た. More に, the end of October に push さ れ た key areas research の condition 検 for proposal に す の る data will make を き, そ の preparation line を な っ た. Pp.47-53 2 years on January 23 ~ 24 に は our の research report を back 7 プ ロ セ シ ン グ プ ラ ズ マ seminar に first set ち こ れ と contract で open rush し た. This time, the <s:1> 総べて and 総べて <s:1> are presented in the form of らず, and the purpose of the submission collection is を and た. The <s:1> <s:1> report meeting will be held in the following groups: に があった, にPR な な ったに ったに らず, らず, and the industry ら ら, with 100 に nearly に participants があった. On January 26 に back 2 総 enclosed class meeting を き research achievements, our の の review 価 を line な い, final annual pay け の direction に つ い て comment し た. The annual report on the achievements of this year is と, the previous year is と, に is に, and the above-mentioned draft collection is と,, に, and the English version is で. The entire field of <s:1> activities <s:1> PR ため ため ニュ スレタ スレタ スレタ スレタ will be held ニュ 1 time みとなった.

项目成果

加藤勇・板谷良平: "Proceedings of 7th Symposium on Plasuma Processing" プラズマエレクトロニクス研究会, 492 (1990)

Isamu Kato 和 Ryohei Itaya：“第七届等离子体处理研讨会论文集”等离子体电子研究组，492 (1990)