反応性プラズマの制御

反应等离子体的控制

• 批准号: 02214106
• 负责人: 板谷 良平
• 金额: $ 7.04万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02214106/
• 关键词: プラズマプロセシング; 反応性プラズマ; プラズマの制御

本課題は昭和63年度からスタ-トした重点領域研究「反応性プラズマの制御」の総括班として、当領域の研究の方向付けと促進を図るものである。そこで本年度は、第3年度であることをふまえ、平成2年5月初旬に年度初頭の計画研究班会議を開き、昨年までの研究成果の点検と最終年度の実行計画の調整・確認とを行なった。ついで、今年度公募研究の多い班の最終年度としての方向付けを行なうために、レ-ザ-を用いたプラズマ計測に関係する研究会を7月下旬に、また素過程に関する研究会を9月上旬にそれぞれ開催した。8月上旬から中旬にかけて、米国ヴィスコンシン大学「プラズマ加工工学研究センタ-」より研究者1名を招き、ECRプラズマのプロ-ブ計測、分光学的計測について共同研究を行なうと共に、今後の研究協力について緒端を開いた。8月下旬には、プラズマ発生に関係するグル-プの研究成果中間報告会を京都大学で開催し、計画研究並びに公募研究について研究進行状況の報告を求め、それぞれの課題について研究の方向に関する討論を行なった。11月中旬に表面反応、シミュレ-ションを含めてプラズマの発生制御に係わる総合的討論の場を設け、班にまたがる研究情報の交換を促進すると共に、次年度における研究とりまとめの方法について相談した。平成3年2月27〜29日には今年度の研究成果報告会を開催し、予稿集を用意した。また2月29日に総括班会議を開き、今年度の研究成果の評価を行ない、研究とりまとめの方針について議論した。本年度の成果報告書は、昨年度と同様、上記の予稿集とは別に英文で作成した。

This topic は showa 63 か ら ス タ - ト し た key research "anti 応 プ ラ ズ マ の suppression" の 総 enclosed class と し て, の の research direction in the field of when to pay け と promote を 図 る も の で あ る. そ こ で は this year, 3 year で あ る こ と を ふ ま え, pp.47-53 2 years may ChuXun に plan initially の year seminar meeting を き, yesterday ま で の research の point 検 と annual の eventually be line project の adjustment, confirm the と を line な っ た. つ い で, our public offering research の の い class final annual と し て の direction pay け を line な う た め に, レ - ザ - を い た プ ラ ズ マ measuring に masato is す る seminar を に in late July, ま た element process に masato す る seminar を early September に そ れ ぞ れ open rush し た. Middle of early August か ら に か け て, m ヴ ィ ス コ ン シ ン university "プ ラ ズ マ processing engineering research セ ン タ -" よ り researchers 1 を き, ECR プ ラ ズ マ の プ ロ - ブ measuring, points of optical measuring に つ い て joint research line を な う と に, future research efforts に の つ い て mio open end を い た. In late August に は, プ ラ ズ マ 発 raw に masato is す る グ ル - プ の research report で を Kyoto university middle し, project research and び に public offering research に つ い て research report status の を め, そ れ ぞ れ の subject に つ い の て research direction に masato す る discuss を line な っ た. Mid-november に surface 応, シ ミ ュ レ - シ ョ ン を containing め て プ ラ ズ マ の 発 system in royal に department わ る 総 discussions け を の field, class に ま た が る research intelligence の exchange を promote す る と に, total annual に お け る research と り ま と め の way に つ い て spoke し た. From February 27th to 29th, Heisei 3, に に the report meeting on the research results of this year を was held to urge <s:1> and submit a collection of papers を. The purpose is to た た. ま た February 29 に 総 enclosed class meeting を き research achievements, our の の review 価 を line な い, research と り ま と め の policy に つ い て comment し た. The annual report on the achievements of this year is と, the same as that of the previous year is と, and the above is recorded in the draft collection と と and に in English で.

项目成果

板谷 良平: "半導体プロセス用プラズマの特性と制御" 応用物理. 59. 912-916 (1990)

Ryohei Itaya：“半导体加工等离子体的特性和控制”应用物理 59. 912-916 (1990)。