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反応性プラズマの制御(とりまとめ)

反应等离子体的控制（摘要）

基本信息

批准号：
03299112
负责人：
板谷良平
金额：
$ 1.86万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
起止时间：
1991 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03299112/
关键词：
プラズマプロセシング反応性プラズマプラズマの制御

项目摘要

本課題は昭和63年に開始し平成2年に終了した重点領域研究「反応性プラズマの制御」のとりまとめを行うもので、当領域の研究成果の評価と集約を行い、それらの社会への還元の促進を図るものである。そこで本年度は平成3年6月に年度初頭の計画会議を開き、これまでの成果の点検と本年度の実行計画について調整、確認を行った。また、6月17ー19日名古屋で開催する反応性プラズマ国際セミナ-への発表と協力について計り、当重点領域研究の国際的評価を問うために招待講演の推薦を行った。つづいて研究成果をとりまとめた研究者向けの図書の執筆方針について討議した。文部省で開かれる研究終了の領域に関する終了ヒアリングのための準備会を9月下旬に開き、報告書に盛り込むべき内容について相談した。本重点領域研究の最終研究会を3月7日に京都で開催し、4年間に亘る研究成果の相互評価を確認すると共に、研究成果報告書作成について説明した。当領域はプラズマ、放電、半導体、衝突物理、表面化学並びに物理化学の広い分野に亙る学際領域であり、異分野間の交流と協力の効果は極めて大きく、その成果を一口で表現すれば、これまで、ブラックボックスとしてしか把握されていなかった反応性プラズマが定量的に把握できるようになったと言うことである。

This project was started in Showa 63 and ended in Heisei 2, and was conducted in the key area of research "reflexive control"を行うもので、Research results in the field のvaluation価とINTENSIVE を行い、それらのsocialへの元の Promotionを図るものである. The planning meeting for the current year will be held at the beginning of the year in June 2016, and the results of the current year will be reviewed, and the plan for the current year will be adjusted and confirmed.また、June 17-19th Nagoya ででるReactionary プラズマ国际セミナ-への発 tableと会It is recommended that the international evaluation of the key areas of research be carried out and the reception of the lectures be recommended. The research results of the research were discussed with the researcher on the writing policy of the book. The Ministry of Education, Culture, Sports, Culture, Sports, Science and Technology has completed the research in the field of "Research on the closed areas" The preparation for the meeting will be held in late September, and the contents of the report will be reviewed and discussed. The final research meeting for this key area will be held in Kyoto on March 7, a mutual evaluation of the research results over the past four years will be confirmed, and a report on the research results will be prepared and explained. When the field is open, discharge, semiconductor, conflict physics, surface chemistry and physical chemistry, the inter-academic field is divided, the exchange between the different fields, the effect of collaboration, the effect is extremely large, and the effect is large. The results are as follows: one bite, one mouthful, one mouthful, one mouthful, one mouthful, one biteなかったreflexive プラズマがquantitative できるようになったと言うことである.