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Robust on-machine profile measurement using a parallel mechanism with small touching force scanning motion
使用具有小接触力扫描运动的并联机构进行稳健的机上轮廓测量
基本信息
- 批准号：21560279
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2011
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
A 3-dof active scanning probes using non-redundantly and redundantly actuated translational parallel mechanisms are developed. In order to improve the positioning accuracy and controlling small forces, a small parallelogram linkage with low friction joint is developed. We have developed 3D measurement system by stereo cameras for evaluating the accuracy of the parallel mechanisms. The positional resolution of the redundantly actuated mechanism becomes 0.5μm in a cubic working range with side length of 1.6 mm. By applying mechanical parameters calibration, the accuracy of the absolute position of the parallel mechanism has been improved to 2.4μm. A stable scanning motion based on the impedance control is also developed.
研制了一种采用非冗余驱动和冗余驱动平移并联机构的三自由度主动扫描探头。为了提高定位精度和控制小作用力，研制了一种低摩擦关节的小型平行四边形连杆机构。为了评估并联机构的精度，我们开发了立体摄像机的三维测量系统。在边长为1.6 mm的立方工作范围内，冗余驱动机构的位置分辨率达到0.5μm。通过机械参数标定，并联机构的绝对位置精度提高到2.4μm。提出了一种基于阻抗控制的稳定扫描运动。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
マルチ駆動リニアモータを用いたパラレルリンク機構に関する研究(第1報)
采用多驱动直线电机的并联连杆机构研究（第1次报告）
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：原田孝;長瀬元哉
- 通讯作者：長瀬元哉
Mechanical Design and Control of 3-DOF Active Scanning Probe Using Parallel Link Mechanism
采用并联机构的三自由度主动扫描探头的机械设计与控制
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：1.1
- 作者：Harada;T.;Dong;K.
- 通讯作者：K.
Robust Method for Position Measurement of Vertex of Polyhedron Using Shape from Focus
利用焦点形状测量多面体顶点位置的鲁棒方法
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Harada;T
- 通讯作者：T
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- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
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