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Untersuchungen zu den Mechanismen des Plasmanitrierens mit dem Aktivgitter

活性栅极等离子渗氮机理研究

基本信息

批准号：
65410213
负责人：
Professor Dr.-Ing. Horst Biermann
金额：
--
依托单位：
Institut für Werkstofftechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/65410213?language=en
关键词：
Untersuchungen zu den Mechanismen des

项目摘要

Das Plasmanitrieren mit einem Aktivgitter stellt eine Weiterentwicklung des konventionellen Plasmanitrierens dar. Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bauteilen auf ein den Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetall verlagert, an dem dadurch ein hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird. Die sich beim konventionellen Plasmanitrieren durch den Energieeintrag über die Glimmentladung an der Bauteiloberfläche ergebenden Grenzen werden auf diese Weise überwunden. Das erst vor wenigen Jahren entwickelte Verfahren wird in zunehmendem Maße industriell genutzt, obwohl seine wissenschaftlichen Grundlagen noch weitgehend unklar sind. Das gilt besonders für die Mechanismen des Nitrierens in industriellen Behandlungsanlagen. Das hier beantragte Forschungsvorhaben hat das Ziel einen Beitrag zur Schaffung der wissenschaftlichen Grundlagen für das Aktivgitter-Plasmanitrieren von Stählen zu leisten. Im Mittelpunkt stehen dabei die Mechanismen des Stoffübergangs. Dazu sollen unter realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen Spektroskopie und der Massenspektroskopie, die im Plasma vorhandenen Spezies in situ nachgewiesen werden und deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen (Gasdruck und –zusammensetzung; Probenvorspannung) verfolgt werden. Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen – Stahlproben und nicht nitrierbare Substrate – erwartet.

等离子体离子束束是一种新型的等离子体离子束束。bediesem Verfahren wind die Glimmentladung von den Bauteilen auden Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus strekmetall verlagert, and dem dadurch in hoth reaktionsfähiges Prozessgas erzeeugt wind。在此基础上，我们提出了一种新的方法：等离子体动力学和能量动力学<e:1>。我们提出了一种新的方法：Bauteiloberfläche等离子体动力学。在德国，“德国工业与发展”是指“德国工业与发展”，而“德国工业与发展”是指“德国工业与发展”。镀金镀金技术在工业上的应用[j]。当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听时，当我们在聆听。Im Mittelpunkt steen dabei die Mechanismen des stoffbergangs。Dazu sollen unter realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen spektroskie and der massenspektroskie, die im Plasma vorhandenenen Spezies in situ nachgewiesen werden and deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen (Gasdruck und -zusammensetzung; Probenvorspannung) verfolgt werden。Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensheingter Veränderungen auf Probenoberflächen - Stahlproben and night nitriberbare Substrate - erwartet。