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Untersuchungen zu den Mechanismen des Plasmanitrierens mit dem Aktivgitter

活性栅极等离子渗氮机理研究

基本信息

批准号：
65410213
负责人：
Professor Dr.-Ing. Horst Biermann
金额：
--
依托单位：
Institut für Werkstofftechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/65410213?language=en
关键词：
Untersuchungen zu den Mechanismen des

项目摘要

Das Plasmanitrieren mit einem Aktivgitter stellt eine Weiterentwicklung des konventionellen Plasmanitrierens dar. Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bauteilen auf ein den Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetall verlagert, an dem dadurch ein hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird. Die sich beim konventionellen Plasmanitrieren durch den Energieeintrag über die Glimmentladung an der Bauteiloberfläche ergebenden Grenzen werden auf diese Weise überwunden. Das erst vor wenigen Jahren entwickelte Verfahren wird in zunehmendem Maße industriell genutzt, obwohl seine wissenschaftlichen Grundlagen noch weitgehend unklar sind. Das gilt besonders für die Mechanismen des Nitrierens in industriellen Behandlungsanlagen. Das hier beantragte Forschungsvorhaben hat das Ziel einen Beitrag zur Schaffung der wissenschaftlichen Grundlagen für das Aktivgitter-Plasmanitrieren von Stählen zu leisten. Im Mittelpunkt stehen dabei die Mechanismen des Stoffübergangs. Dazu sollen unter realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen Spektroskopie und der Massenspektroskopie, die im Plasma vorhandenen Spezies in situ nachgewiesen werden und deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen (Gasdruck und –zusammensetzung; Probenvorspannung) verfolgt werden. Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen – Stahlproben und nicht nitrierbare Substrate – erwartet.

这种带有活性剂的等离子体是传统等离子体的一种有效的改进。Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bauteilen auf an en Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetall verlagert，and dam dadenge in hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird.这种等离子体氮化物是通过能量注入使发光体发光而使发光体韦尔登发光的。这是一个新世纪的开始，它将在工业生产中发挥重要作用，但它的科学基础仍然存在。Das gilt besonders für die Mechanismen des Nitrierens in industriellen Behandlungsanlagen. Das das beantragte Forschungsvorhaben hat das Ziel einen Beitrag zur Schaffung der wissenschaftlichen Grundlagen für das Aktivgitter-Plasmanitrieren von Stählen zu leisten.在Mittelpunkt sthen dabei die Mechanismen des Stoffübergangs.因此，在实际应用中，通过使用光学光谱仪和质量光谱仪，等离子体处理光谱仪在原位进行测量，并在测量过程中进行时间检验（Gasdruck und -zusammensetzung; Probenvorspannung）。Wesentliche Erkenntnisse韦尔登ferner von der Untersuchung verfausbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen - Stahlproben und nicht nitrierbare Substrate - erwartet.