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Untersuchungen zu den Mechanismen des Plasmanitrierens mit dem Aktivgitter

活性栅极等离子渗氮机理研究

基本信息

批准号：
65410213
负责人：
Professor Dr.-Ing. Horst Biermann
金额：
--
依托单位：
Institut für Werkstofftechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/65410213?language=en
关键词：
Untersuchungen zu den Mechanismen des

项目摘要

Das Plasmanitrieren mit einem Aktivgitter stellt eine Weiterentwicklung des konventionellen Plasmanitrierens dar. Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bauteilen auf ein den Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetall verlagert, an dem dadurch ein hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird. Die sich beim konventionellen Plasmanitrieren durch den Energieeintrag über die Glimmentladung an der Bauteiloberfläche ergebenden Grenzen werden auf diese Weise überwunden. Das erst vor wenigen Jahren entwickelte Verfahren wird in zunehmendem Maße industriell genutzt, obwohl seine wissenschaftlichen Grundlagen noch weitgehend unklar sind. Das gilt besonders für die Mechanismen des Nitrierens in industriellen Behandlungsanlagen. Das hier beantragte Forschungsvorhaben hat das Ziel einen Beitrag zur Schaffung der wissenschaftlichen Grundlagen für das Aktivgitter-Plasmanitrieren von Stählen zu leisten. Im Mittelpunkt stehen dabei die Mechanismen des Stoffübergangs. Dazu sollen unter realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen Spektroskopie und der Massenspektroskopie, die im Plasma vorhandenen Spezies in situ nachgewiesen werden und deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen (Gasdruck und –zusammensetzung; Probenvorspannung) verfolgt werden. Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen – Stahlproben und nicht nitrierbare Substrate – erwartet.

Das Plasmanitrieren mit einem Aktivgitter stellt eine Weiterentwicklung des konventionellen Plasmanitrierens dar. Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bautilen auf ein den Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetal verlagert, an dem adurch ein hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird.在此情况下，等离子发生器会在能量转化过程中产生闪光，并且会在光线照射下产生光亮。最初的几年，我们在工业生产中进行了一系列的工作，以了解其基本原理。 Das gilt besonders for die Mechanismen des Nitrierens industriellen Behandlungsanlagen。该研究的目的是为了研究活动的等离子体等离子体的基本原理。我是 Stoffübergangs 机制的 Mittelpunkt stehen dabei。 Dazu sollen under realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen Spektroskopie der Massenspektroskie, die im Plasma vorhandenen Spezies in situ nachgewiesen werden und deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen （Gasdruck und –zusammensetzung；Probenvorspannung）verfolt werden。 Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen – Stahlproben und nicht nistierbare Substrate – erwartet。