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Development of equipment for multi-purpose materials processing by ions produced in high-density pulsed discharge plasmas

Development of equipment for multi-purpose materials processing by ions produced in high-density pulsed discharge plasmas
开发利用高密度脉冲放电等离子体产生的离子进行多用途材料加工的设备
批准号：
26420230
负责人：
KIMURA Takashi
金额：
$3.16万
依托单位：
Nagoya Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420230/
关键词：
プラズマイオンプロセスパルスプラズマスパッタ薄膜作製硬質薄膜作製ホロ-カソ-ドマグネトロンスパッタダイヤモンドライクカーボン対向タ-ゲット型スパッタ

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Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films using high-density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture
DOI： 10.7567/jjap.55.07le02
发表时间： 2016-06
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [T. Kimura;H. Kamata]
通讯作者： T. Kimura;H. Kamata
Properties of diamond-like carbon films prepared by high power pulsed sputtering with two facing targets
DOI： 10.1016/j.surfcoat.2016.07.030
发表时间： 2016-12
期刊： Surface & Coatings Technology
影响因子： 5.4
作者： [T. Kimura;T. Mishima;K. Azuma;S. Nakao]
通讯作者： T. Kimura;T. Mishima;K. Azuma;S. Nakao
Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films by reactive Ar/CH4 high power impulse magnetron sputtering with negative pulse voltage
负脉冲电压反应Ar/CH4高功率脉冲磁控溅射制备氢化类金刚石碳薄膜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [鎌田 光速, 木村 高志, 中尾 節男, 東 欣吾, 原田 敏和，七森 公碩，梅上 大勝，山本 真義, Takashi Kimura,Hikaru Kamata]
通讯作者： Takashi Kimura,Hikaru Kamata
ホロ－形状ターゲットを持つ高電力パルススパッタの電気特性
空心靶高功率脉冲溅射电学特性
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroki Ishibashi, Akihiro Nishigaki, Hirokatsu Umegami, Wilmar Martinez and Masayoshi Yamamoto, 吉田 尭，石橋 寛基，山本 真義, 木村高志,三島俊彦]
通讯作者： 木村高志,三島俊彦
共 11 条
    Preparation of functional hard coating materials by high density pulsed plasma ion implantation
    • 批准号：
      17K06298
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Nagoya Institute of Technology
    Innovative multiple-bit information writing using local pure spin current injection
    • 批准号：
      23651150
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Development of hard deformable focusing mirror for general-purpose hard X-ray optics.
    • 批准号：
      23860001
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • 资助金额：
      $1.83万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    Development of efficient magnetic refrigeration technique using pure spin current
    • 批准号：
      22246003
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $26.54万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金