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Quantum etch plasma simulation

量子蚀刻等离子体模拟

基本信息

批准号：
EP/F008961/1
负责人：
Jonathan Tennyson
金额：
$ 11.94万
依托单位：
University College London
依托单位国家：
英国
项目类别：
Research Grant
财政年份：
2007
资助国家：
英国
起止时间：
2007 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://gtr.ukri.org/projects?ref=EP%2FF008961%2F1
关键词：
Quantum etch plasma simulation

项目摘要

The project will produce a prototype Quantum-Etch system: a plasma etching model based on accurate quantum models. This etching program will allow academic and industrial researchers to pre-test major design changes in etching systems. The consequence will be a major efficiency gain for the semiconductor industry in designing industrial etching chambers allowing for the most suitable designs to be quickly identified and moved on to lab testing. Project outputs will include a Requirements Analysis following customer interviews, Development Roadmap, Prototype Quantum-Etch system and a detailed Business Plan which will be used to raise further finance for development and marketing.

该项目将生产一个量子蚀刻系统的原型：一个基于精确量子模型的等离子蚀刻模型。这一蚀刻计划将允许学术和工业研究人员预先测试蚀刻系统中的主要设计变化。这将大大提高半导体行业在设计工业蚀刻室方面的效率，从而使最合适的设计能够被快速识别并转移到实验室测试。项目产出将包括客户访谈后的需求分析、开发路线图、Quantum-Etch原型系统和详细的业务计划，该计划将用于为开发和营销筹集更多资金。

项目成果

期刊论文数量（10）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

ExoMol line lists - VIII. A variationally computed line list for hot formaldehyde

ExoMol 系列列表 - VIII。

DOI：
10.1093/mnras/stv091
发表时间：
2015
期刊：
Monthly Notices of the Royal Astronomical Society
影响因子：
4.8
作者：
Al-Refaie A
通讯作者：
Al-Refaie A

Using a vibrational averaging technique to understand the role of water dimers in atmospheric absorption

使用振动平均技术了解水二聚体在大气吸收中的作用

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
影响因子：
0
作者：
Kelly Ross E. A.
通讯作者：
Kelly Ross E. A.

Boundary layer flow and heat transfer past a stretching plate with variable thermal conductivity

通过具有可变导热系数的拉伸板的边界层流动和传热

DOI：
10.1016/j.ijnonlinmec.2009.12.006
发表时间：
2010
期刊：
International Journal of Non-Linear Mechanics
影响因子：
3.2
作者：
Ahmad N
通讯作者：
Ahmad N

Theoretical determined water dimer spectra in the near IR and visible regions in the atmosphere

理论确定的大气中近红外和可见光区域的水二聚体光谱

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
影响因子：
0
作者：
Kelly Ross E. A.
通讯作者：
Kelly Ross E. A.

Electron re-scattering from H 2 and CO 2 using R-matrix techniques

使用 R 矩阵技术从 H 2 和 CO 2 进行电子再散射

DOI：
10.1080/09500340601043405
发表时间：
2007
期刊：
Journal of Modern Optics
影响因子：
1.3
作者：
Harvey A
通讯作者：
Harvey A

DOI：
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期刊：
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作者：
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作者：
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Jonathan Tennyson其他文献

The Spectrum of Hot Water: Rotational Transitions and Difference Bands in the (020), (100), and (001) Vibrational States

热水的光谱：(020)、(100) 和 (001) 振动状态下的旋转跃迁和差异带

DOI：
发表时间：
1997
期刊：
Journal of Molecular Spectroscopy
影响因子：
1.4
作者：
O. Polyansky;Jonathan Tennyson;P. Bernath
通讯作者：
P. Bernath

Calculation of rotation-vibration energy levels of the ammonia molecule based on an ab initio potential energy surface

DOI：
10.1016/j.jms.2016.08.003
发表时间：
2016-09-01
期刊：
Research article
影响因子：
作者：
Oleg L. Polyansky;Roman I. Ovsyannikov;Aleksandra A. Kyuberis;Lorenzo Lodi;Jonathan Tennyson;Andrey Yachmenev;Sergei N. Yurchenko;Nikolai F. Zobov
通讯作者：
Nikolai F. Zobov

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DOI：
10.1016/j.saa.2024.124007
发表时间：
2024-04-15
期刊：
SPECTROCHIMICA ACTA PART A-MOLECULAR AND BIOMOLECULAR SPECTROSCOPY
影响因子：
4.600
作者：
Boris A. Voronin;Jonathan Tennyson;Sergey N. Yurchenko;Tatyana Yu. Chesnokova;Aleksei V. Chentsov;Aleksandr D. Bykov;Maria V. Makarova;Svetlana S. Voronina;Flávio C. Cruz
通讯作者：
Flávio C. Cruz

Estimate of the J′J″ dependence of water vapor line broadening parameters

DOI：
10.1016/j.jqsrt.2010.05.015
发表时间：
2010-10-01
期刊：
Research article
影响因子：
作者：
Boris A. Voronin;Nina N. Lavrentieva;Tatyana P. Mishina;Tatyana Yu. Chesnokova;Matthew J. Barber;Jonathan Tennyson
通讯作者：
Jonathan Tennyson