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Investigation of advanced plasma sources for materials processing and for device fabrication

Investigation of advanced plasma sources for materials processing and for device fabrication
研究用于材料加工和设备制造的先进等离子体源
批准号：
38124-2009
负责人：
Chaker, Mohamed
金额：
$5.03万
依托单位：
Institut national de la recherche scientifique
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2011
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2011-01-01 至 2012-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=474797
关键词：
Investigationadvancedplasmasourcesmaterials

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
多年来，我一直领导着一个跨学科的项目，研究用于薄膜加工的先进等离子体源。从一开始，它就建立在对等离子体科学的深入了解和材料加工（合成和蚀刻）和表征的详尽知识基础上。我打算利用我以前成功的工作，继续在结合等离子体和材料科学与技术的创新材料加工概念和先进射频和光子元件的制造方面表现出色。
英文摘要
For many years, I have been leading an interdisciplinary program on advanced plasma sources for thin film processing. From the very beginning, it has been built on a deep knowledge of plasma science and on an exhaustive know-how in materials processing (synthesis and etching) and characterization. I intend to capitalize on my previously successful work and continue to excel in combining plasma and materials science and technology for the conception of innovative materials processing and for the fabrication of advanced RF and photonic components.
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会议论文
Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
Plasma synthesis of innovative thin films and nanomaterials for device fabrication
Plasmas Applied To Micro- And Nanomanufacturing
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国内基金
海外基金
Capture and Release of Droplets Using Advanced Materials for High Technology Applications
  • 批准号：
    52073127
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    58.0万元
  • 批准年份：
    2020
  • 负责人：
    Alidad Amirfazli
  • 依托单位：
    江苏理工学院
面向用户体验的IMT-Advanced系统跨层无线资源分配技术研究
  • 批准号：
    61201232
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    胡亚辉
  • 依托单位：
    中国科学院信息工程研究所
LTE-Advanced中继网络关键技术研究
  • 批准号：
    61171096
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    王献
  • 依托单位：
    西南交通大学
隧道超前探测的三分量光纤地震加速度检波机理与应用研究
  • 批准号：
    51079080
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    32.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    蒋奇
  • 依托单位：
    山东大学