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Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Copper Metal
铜金属的等离子体增强原子层沉积
基本信息
- 批准号：489590-2016
- 负责人：
- 金额：$ 2.55万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Alexander Graham Bell Canada Graduate Scholarships - Doctoral
- 财政年份：2017
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2017-01-01 至 2018-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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1826251 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 2.55万 - 项目类别：
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铜金属的等离子体增强原子层沉积
- 批准号：
489590-2016 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 2.55万 - 项目类别：
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- 资助金额：
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- 批准号：
489590-2016 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 2.55万 - 项目类别：
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199656457 - 财政年份：2011
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